【技术实现步骤摘要】
一种合框撕胶一体机传感器安全防护装置
[0001]本技术属于半导体制造领域，特别涉及一种合框撕胶一体机传感器安全防护装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，晶圆上可以集成安装若干个IC，而芯片的制造过程可分为晶圆处理工序、晶圆针测工序、构装工序、测试工序等几个步骤。其中晶圆处理工序和晶圆针测工序为前段工序，而构装工序、测试工序为后段工序。晶圆在加工过程中，需要对晶圆进行涂膜、曝光、显影、蚀刻、离子植入、金属溅镀和切割等若干工序，通常采用将晶圆附在底膜上，在晶圆表面覆盖一层保护胶膜，在底膜上表面的边缘固定一个定位环，定位环作为晶圆的支撑载体，便于对晶圆进行加工，定位更加方便，防止将晶圆破坏，合框撕胶一体机是半导体行业用于合框和撕胶工艺的一种设备，能够将晶圆与底膜、定位环相固定。目前的合框撕胶一体机台的合框区域无护板遮挡，人员在更换合框胶膜时易触碰到传感器，会造成传感器损坏或侦测异常。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种合框撕胶一体机传感器安全防护装置，能够避免操作人员在更换胶膜时易触碰到合框区域侦测...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种合框撕胶一体机传感器安全防护装置，包括活动连接在机台上的合框支架，合框支架上设置有用于安装传感器的安装支架，其特征在于，所述安装支架包括与合框支架相固定的内侧杆，与内侧杆相对应地设置有外侧杆，内侧杆和外侧杆相平行设置，内侧杆和外侧杆之间设置有两根左右对应的连接杆，连接杆与内侧杆相平行设置，所述内侧杆和外侧杆的前侧均沿长度方向间隔设置有若干传感支架，传感支架上安装有传感器，所述外侧杆前侧对应设置有保护罩，保护罩包括竖直设置的保护板，保护板的左右两侧均一体设置有L形连接部，两个连接部分别与外侧杆的相应端固定连接，所述保护板与各传感器之间留有间距，各传感器均位于保护板沿连接杆轴线方向的投影区域之内。2.根据权利要求1所述的一种合框撕胶一体机传感器安全防护装置，其特征在于，所述连接部包括连接板和固定板，连接板与保护板连为一...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏杨生，许秀真，刘明群，孟强，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。