一种便于拆装的分离型上部电极结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于拆装的分离型上部电极结构，包括连接环，所述连接环的一侧设置有拆装结构，所述拆装结构的内部设置有旋转块，所述旋转块的一侧与连接杆的一端固定连接，所述连接杆的另一端设置有连接头，所述连接杆的外侧套接有弹簧，所述弹簧的一侧设置有插板，所述插板的外侧设置有固定块，所述连接环的内部设置有气体供给盘，所述气体供给盘的表面开设有气体喷射孔；该一种便于拆装的分离型上部电极结构通过设置拆装结构，使得该拆装的分离型上部电极结构中的气体供给盘和连接环可以进行拆卸连接，从而方便后期的更换或者维修，通过设置旋转块和连接杆以及连接凹槽，使得连接环和气体供给盘可以快速的进行更换。使得连接环和气体供给盘可以快速的进行更换。使得连接环和气体供给盘可以快速的进行更换。

【技术实现步骤摘要】
一种便于拆装的分离型上部电极结构


[0001]本技术涉及上部电极
，具体为一种便于拆装的分离型上部电极结构。

技术介绍

[0002]电极是用来与电路非金属部分(如半导体、电解质、真空或空气)接触的导体。这个词是威廉
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惠威尔(WamWhewell)在科学家迈克尔
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法拉第(Michael Faraday)的要求下从两个希腊单词：电子(elektron)，意思是琥珀(电这个词就是从琥珀这个词衍生而来的)，以及hodos，意为一种方式，创造出来的。电化学电池中的电极被称为阳极或者阴极现在阳极被定义为电子离开电池并发生氧化的电极(用负号“－”表示)，阴极被定义为电子进入电池并发生还原的电极(用加号“+”表示)。根据通过电池的电流方向，电池上的电极可以成为正极或负极。原电池是一种特殊类型的电化学电池，哪是阳极哪是阴极是确定的，阳极总是负极。原电池可以放电，但不能充电。次级电池，例如可充电电池，其中的化学反应是可逆的。当电池充电时，阳极变成正(+)电极，阴极变成负(－)电极。电解槽(电化学池)也是如此。当电池放电时，它就像一个原电池，阳极成为负极，阴极成为正极。双极电极是作为一个电池的正极和另一个电池的负极的电极。而上部电极主要用于坡璃面板生产工序中，使坡璃面板表面形成小回路时的干刻工程的部件。其上沿其厚度方向具有上千个气体喷气孔，在干刻过程中，会与等离子电极相结合，使等离子气体在机舱内喷射均匀，是决定LCD干刻工程生产效率的消耗性核心部件。
[0003]在干蚀刻装备的电极组装中，蚀刻工艺进行时，工艺气体通过气体注入管被注入，并进入上部电极上形成的多个气体喷射孔内，根据上部电极上的电压生成等离子，根据这种等离子形成了在晶片上的氧化膜或者金属膜等的蚀刻。
[0004]现有技术存在以下缺陷或问题：
[0005]上部电极结构中的的气体供给盘和连接环是一体的，如果气体供给盘或者连接环其中一个损坏时，往往需要将整个上部电极更换掉，使用起来较为不便的同时很容易造成资源的浪费。

技术实现思路

[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于拆装的分离型上部电极结构，包括连接环，所述连接环的一侧设置有拆装结构，所述拆装结构的内部设置有旋转块，所述旋转块的一侧与连接杆的一端固定连接，所述连接杆的另一端设置有连接头，所述连接杆的外侧套接有弹簧，所述弹簧的一侧设置有插板，所述插板的外侧设置有固定块，所述连接环的内部设置有气体供给盘，所述气体供给盘的表面开设有气体喷射孔，所述气体供给盘的两侧设置有连接凹槽。
[0007]作为本技术的优选技术方案，所述连接杆的一端与连接头的一侧固定连接，所述连接头呈梯形。
[0008]作为本技术的优选技术方案，所述弹簧的内侧与连接杆的外表面套接，所述弹簧的内径尺寸与连接杆的外径尺寸大小相匹配。
[0009]作为本技术的优选技术方案，所述插板的内部开设有通孔，所述连接杆通过通孔与插板插接，所述连接杆的外径尺寸与通孔的内径尺寸大小相适配。
[0010]作为本技术的优选技术方案，所述固定块的一侧与连接环的内部固定连接。
[0011]作为本技术的优选技术方案，所述连接杆通过连接头与连接凹槽卡合连接，所述连接头的外径尺寸与连接凹槽的内径尺寸大小相适配，所述连接凹槽的数量为两组。
[0012]作为本技术的优选技术方案，所述拆装结构的数量为两组，所述连接环通过拆装结构与气体供给盘卡合连接。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种便于拆装的分离型上部电极结构，具备以下有益效果：
[0014]该一种便于拆装的分离型上部电极结构，通过设置拆装结构，使得该拆装的分离型上部电极结构中的气体供给盘和连接环可以进行拆卸连接，从而方便后期的更换或者维修，通过设置旋转块和连接杆以及连接凹槽，使得该拆装的分离型上部电极结构中的连接环和气体供给盘可以快速的进行更换，而且，安装以及拆卸的过程都十分简便，使用起来更加便捷。
附图说明
[0015]图1为本技术结构的俯视平面示意图；
[0016]图2为本技术结构的气体供给盘平面示意图；
[0017]图3为本技术结构的拆装结构平面示意图；
[0018]图4为本技术结构的连接杆立体示意图。
[0019]图中：1、连接环；2、拆装结构；3、气体供给盘；4、连接凹槽；5、气体喷射孔；6、旋转块；7、弹簧；8、连接杆；9、插板；10、固定块；11、连接头。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1－4，本实施方案中：一种便于拆装的分离型上部电极结构，包括连接环1，连接环1的一侧设置有拆装结构2，拆装结构2的内部设置有旋转块6，旋转块6的一侧与连接杆8的一端固定连接，连接杆8的另一端设置有连接头11，连接杆8的外侧套接有弹簧7，弹簧7的一侧设置有插板9，插板9的外侧设置有固定块10，连接环1的内部设置有气体供给盘3，气体供给盘3的表面开设有气体喷射孔5，气体供给盘3的两侧设置有连接凹槽4。
[0022]本实施例中，连接杆8的一端与连接头11的一侧固定连接，连接头11呈梯形，使得连接杆8可以更快速的和连接凹槽4连接；弹簧7的内侧与连接杆8的外表面套接，弹簧7的内径尺寸与连接杆8的外径尺寸大小相匹配，便于连接杆8的来回移动，从而便于该拆装的分离型上部电极结构的拆装；插板9的内部开设有通孔，连接杆8通过通孔与插板9插接，连接
杆8的外径尺寸与通孔的内径尺寸大小相适配，使得拆装结构2的结构更为合理；固定块10的一侧与连接环1的内部固定连接，能够很好的固定固定块10，使用起来更加方便；连接杆8通过连接头11与连接凹槽4卡合连接，连接头11的外径尺寸与连接凹槽4的内径尺寸大小相适配，连接凹槽4的数量为两组，便于连接杆8的使用，通过连接凹槽4，一定程度上能够很好的将连接杆8固定；拆装结构2的数量为两组，连接环1通过拆装结构2与气体供给盘3卡合连接，通过设置拆装结构2，使得该该拆装的分离型上部电极结构中的连接环1和气体供给盘3的连接更加便捷，便于使用者的使用。
[0023]本技术的工作原理及使用流程：使用者使用该便于拆装的分离型上部电极结构时，首先通过拉开旋转块6从而使得连接杆8与连接凹槽4分离，然后，使用者将气体供给盘3从连接环1中移出，更换新的气体供给盘3即可，通过连接杆8、连接头11和弹簧7以及插板9，使得该拆装结构2能够快速的将连接环1和气体供给盘3连接，大大的方便了工作人员对气体供给盘3或者连接环1在后期的更换，使用起来更加方便。
[0024]最后应说明本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于拆装的分离型上部电极结构，其特征在于：包括连接环(1)，所述连接环(1)的一侧设置有拆装结构(2)，所述拆装结构(2)的内部设置有旋转块(6)，所述旋转块(6)的一侧与连接杆(8)的一端固定连接，所述连接杆(8)的另一端设置有连接头(11)，所述连接杆(8)的外侧套接有弹簧(7)，所述弹簧(7)的一侧设置有插板(9)，所述插板(9)的外侧设置有固定块(10)，所述连接环(1)的内部设置有气体供给盘(3)，所述气体供给盘(3)的表面开设有气体喷射孔(5)，所述气体供给盘(3)的两侧设置有连接凹槽(4)。2.根据权利要求1所述的一种便于拆装的分离型上部电极结构，其特征在于：所述连接杆(8)的一端与连接头(11)的一侧固定连接，所述连接头(11)呈梯形。3.根据权利要求1所述的一种便于拆装的分离型上部电极结构，其特征在于：所述弹簧(7)的内侧与连接杆(8)的外表面套接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐琥值，玄龙，徐凯，
申请(专利权)人：苏州外延世电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：