手动撕膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了手动撕膜机，涉及半导体制造辅助设备技术领域，解决了现有的作业方法手撕膜会使铜片变形、损伤，容易折弯基板，产生芯片内部缺陷的问题。包括安装板，所述安装板上设有若干托板组，每个托板组包括固定托板和固定托板两侧的活动托板，活动托板沿靠近或远离固定托板方向滑移连接于安装板上，安装板上连接有用于固顶活动托板位置的固定件；活动托板与固定托板上皆连接有若干吸嘴，所述吸嘴连接于真空发生器，真空发生器供气口连接有气源、控制气源与真空发生器之间气路通断的手动开关。达到了保证基板平整度，操作简单，结构简单，运行稳定、成本低廉，杜绝撕膜过程中造成的基板和芯片损伤，兼容不同尺寸的铜片，通用性高的效果。高的效果。高的效果。

【技术实现步骤摘要】
手动撕膜机


[0001]本技术涉及半导体制造辅助设备
，特别涉及一种手动撕膜机。

技术介绍

[0002]在半导体封装生产过程中，QFN(DFN)在塑封后需要剥离背面的保护膜，以便于后道分离工序的生产。IC铜片有一层保护膜，现有的作业方法是作业员一手拿膜，一手拿基板，双手剥离，但是，铜片比较薄比较软，这样的作业方法存有很大的隐患，手撕膜会使铜片变形、损伤，容易折弯基板，产生芯片内部缺陷。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供手动撕膜机，用真空吸盘吸住基板再撕膜，保证了基板的平整度，操作简单，结构简单，运行稳定、成本低廉，杜绝了撕膜过程中造成的基板和芯片损伤，且可兼容不同尺寸的铜片，通用性高。
[0004]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0005]一种手动撕膜机，包括安装板，所述安装板上设有若干托板组，每个托板组包括固定托板和固定托板两侧的活动托板，活动托板沿靠近或远离固定托板方向滑移连接于安装板上，安装板上连接有用于固顶活动托板位置的固定件；
[0006]活动托板与固定托板上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种手动撕膜机，其特征在于：包括安装板（4），所述安装板（4）上设有若干托板组，每个托板组包括固定托板（2）和固定托板（2）两侧的活动托板（3），活动托板（3）沿靠近或远离固定托板（2）方向滑移连接于安装板（4）上，安装板（4）上连接有用于固顶活动托板（3）位置的固定件；活动托板（3）与固定托板（2）上皆连接有若干吸嘴（1），所述吸嘴（1）连接于真空发生器（8），真空发生器（8）供气口连接有气源、控制气源与真空发生器（8）之间气路通断的手动开关（12）。2.根据权利要求1所述的手动撕膜机，其特征在于：所述固定件包括若干螺纹连接于安装板（4）上的固定旋钮（14），所述固定旋钮（14）贯通安装板（4）侧面后抵接于活动托板（3）侧面。3.根据权利要求1或2所述的手动撕膜机，其特征在于：所述安装板（4）上开设有供活动托板（3）滑移的T型槽，活动托板（3）底部设为与T型槽相适配的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱冬成，
申请(专利权)人：南通斯康泰智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：