【技术实现步骤摘要】
一种金属有机化合物的解配分离装置
[0001]本技术涉及解配分离装置
,尤其涉及一种金属有机化合物的解配分离装置。
技术介绍
[0002]高纯金属有机化合物,或叫化合物半导体微结构材料,是先进的金属有机化学气相沉积、金属有机分子束外延等技术生长半导体微结构材料的支撑材料,其优异的电学、光学和磁学等性能,可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。
[0003]现有技术中,现有的金属有机化合物的解配分离装置在将低沸点的金属有机化合物排出时,为保证其质量,会在出料管上安装有过滤网对其进行过滤,将金属有机化合物中的杂质过滤出来,使排出的金属有机化合物中不含杂质,保证其质量,但是在长时间的使用之后,过滤网上会堵塞有大量杂质,金属有机化合物难以排出,影响解配分离装置的正常使用,为此我们设计了一种金属有机化合物的解配分离装置来解决以上问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中现有的解配分离装置在长时间的使用之后,过滤网上会堵塞有大量杂质,金属有机化合物难以排出 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金属有机化合物的解配分离装置,包括装置本体(1),其特征在于,所述装置本体(1)的底部固定安装有出料管(2),所述出料管(2)上设有阀门(3),所述出料管(2)的内壁固定安装有环形板(6),所述出料管(2)上开设有两个滑动腔(7)和两个安装槽(8),所述出料管(2)内滑动设有过滤机构,两个所述滑动腔(7)上均设有压缩机构,两个所述压缩机构的底端均与过滤机构的顶部相抵紧,所述环形板(6)上设有密封机构,所述密封机构延伸至两个滑动腔(7)内并与其内部相互连通,两个所述安装槽(8)内均设有限位机构,两个所述限位机构均延伸至过滤机构内并与其内侧壁相抵紧,所述出料管(2)的底部设有两个推动机构,两个所述推动机构均延伸至相对的限位机构内并与其内壁相抵。2.根据权利要求1所述的一种金属有机化合物的解配分离装置,其特征在于,所述过滤机构包括滑动连接在出料管(2)内的安装框(4),所述安装框(4)上固定安装有过滤网(5),所述安装框(4)的两端侧壁均开设有限位槽(14)。3.根据权利要求2所述的一种金属有机化合物的解配分离装置,其特征在于,所述压缩机构包括滑动连接在滑动腔(7)内的活塞(9),所述活塞(9)的底部固定安装有推杆(10),所述推杆...
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