一种晶圆生产切割用冷却设备制造技术

本发明专利技术涉及机械设备的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产切割用冷却设备，其通过对晶圆进行自动拦截冷却处理，可方便使晶圆温度快速降低，缩短其冷却时间，提高工作效率，同时避免晶圆长静置冷却时，外界空气中的杂质对其造成的污染，方便对晶圆进行保护，提高实用性和可靠性；包括工作台、四组支腿和三组封板，四组支腿均安装在工作台的底部，工作台的顶部左侧设置有推送装置，三组封板环形均匀安装在推送装置的外侧，三组封板的方向相对，每组封板的外部上侧均设置有两组第一推杆。部上侧均设置有两组第一推杆。部上侧均设置有两组第一推杆。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆生产切割用冷却设备


[0001]本专利技术涉及机械设备的
，特别是涉及一种晶圆生产切割用冷却设备。

技术介绍

[0002]众所周知，晶圆是电子元件的基础元件，其形状为圆形薄片，晶圆主要由圆柱形硅棒经过激光切割而成，晶圆切割完成后，其上温度较高，不能直接将电子元件安装在其上，需对其进行降温处理，现有降温方式主要是通过静置自然冷却或风冷进行降温，然而采用此种冷却方式时，晶圆温度降低速度较慢，冷却效率较低，同时晶圆长时间静置时，外界空气中漂浮的杂质容易沉积在晶圆上，导致晶圆容易受到污染。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种通过对晶圆进行自动拦截冷却处理，可方便使晶圆温度快速降低，缩短其冷却时间，提高工作效率，同时避免晶圆长静置冷却时，外界空气中的杂质对其造成的污染，方便对晶圆进行保护，提高实用性和可靠性的晶圆生产切割用冷却设备。
[0004]本专利技术的一种晶圆生产切割用冷却设备，包括工作台、四组支腿和三组封板，四组支腿均安装在工作台的底部，工作台的顶部左侧设置有推送装置，三组封板环形均匀安装在推送装置的外侧，三组封板的方向相对，每组封板的外部上侧均设置有两组第一推杆，每组封板的外部下侧均设置有第一支撑板，每组第一支撑板的外侧均设置有细孔吸盘，每组细孔吸盘均与外界气泵连通，工作台的顶部右侧设置有冷却仓，冷却仓的前侧设置有中控箱，冷却仓的左侧连通设置有通口，通口的右侧盖装有盖板，盖板的顶部通过弹簧铰接在冷却仓的内壁左上侧，盖板的左侧均匀设置有多组喷头，多组喷头均位于通口内，多组喷头的位置与每组封板上的两组第一推杆位置交错，盖板的右侧设置有导气仓，导气仓与多组喷头的右侧连通，冷却仓的右下侧连通设置有第一气管，第一气管的下侧输入端倾斜，冷却仓的顶部设置有制冷仓，制冷仓的内部竖向设置有螺旋制冷罐，螺旋制冷罐的内部上侧设置有散气斗，制冷仓的顶部设置有吸泵，吸泵的上侧输入端和下侧输出端分别与第一气管的上侧输出端和散气斗的上侧输入端连通，制冷仓的左下侧连通设置有第二气管，冷却仓的顶部后侧竖向设置有导气桶，导气桶的底部伸入至冷却仓内部上侧，第二气管的后侧输出端安装在导气桶的左下侧并与导气桶内部连通，导气桶的内部密封滑动设置有活塞块，活塞块的底部设置有第二推杆，第二推杆的底部穿过导气桶的底部并伸入至冷却仓内部，第二推杆与导气桶滑动密封连接，第二推杆的底部转动设置有第三推杆，第三推杆倾斜，第三推杆的底部转动安装在导气仓的右上侧，导气仓的右上侧连通设置有第三气管，第三气管的上侧输入端安装在导气桶上，活塞块对导气桶上第二气管的后侧输出端和第三气管的上侧输入端进行封堵处理，中控箱分别与推送装置、螺旋制冷罐和吸泵信号连接；外界切割后的晶圆放置在左后侧封板上的细孔吸盘顶部，外界气泵可对左后侧细孔吸盘内部进行吸气处理，左后侧细孔吸盘对其上的晶圆进行吸附固定处理，中控箱控制推送装置逆时针转动
并带动晶圆转动，晶圆转动至推送装置的右侧并与冷却仓左侧的通口位置对应，中控箱控制推送装置推动右侧封板和其上的两组第一推杆、第一支撑板、细孔吸盘和晶圆向右移动，右侧封板上的两组第一推杆首先与通口内的盖板左上侧接触并推动盖板逆时针打开，盖板带动导气仓逆时针转动至水平状态，此时多组喷头转动至竖直状态，盖板推动弹簧产生弹性变形，此时右侧封板上的两组第一推杆、第一支撑板、细孔吸盘和晶圆均通过通口伸入至冷却仓内，右侧封板盖装在通口的左侧，当盖板转动时，盖板通过导气仓和第三推杆推动第二推杆向上移动，第二推杆带动活塞块在导气桶内向上移动，活塞块远离第二气管的后侧输入端和第三气管的上侧输入端并停止对第二气管和第三气管进行封堵工作，此时第二气管通过导气桶可与第三气管连通，中控箱控制打开螺旋制冷罐和吸泵，螺旋制冷罐对制冷仓内空气进行制冷降温处理并形成冷气流，吸泵通过第一气管将冷却仓内的空气抽离并通过散气斗排入至制冷仓内的螺旋制冷罐内，排入制冷仓内的空气扩散至螺旋制冷罐周围并降温形成冷气流，制冷仓内的冷气流通过第二气管、导气桶和第三气管排入至导气仓内，导气仓内的冷气流通过多组喷头向下喷出之冷却仓内的晶圆上，从而对晶圆进行冷却处理，冷却仓内的冷气流向下流动并通过第一气管下侧输入端重新进入第一气管内，冷却仓内的晶圆冷却完成后，关闭吸泵，中控箱控制右侧封板和其上的第一推杆、第一支撑板、细孔吸盘和晶圆向左移动并恢复至初始位置，此时右侧封板停止对冷却仓左侧通口的盖装工作，弹簧推动盖板顺时针转动并重新盖装在通口上，盖板通过导气仓、第三推杆和第二推杆带动活塞块向下移动至初始位置，活塞块重新对第二气管的后侧输出端和第三气管的上侧输入端进行封堵，中控箱控制推送装置转动并将下一组晶圆传送至冷却仓的左侧，三组封板上的细孔吸盘可连续对晶圆进行送料工作，从而实现对晶圆的连续自动冷却处理，通过对晶圆进行自动拦截冷却处理，可方便使晶圆温度快速降低，缩短其冷却时间，提高工作效率，同时避免晶圆长静置冷却时，外界空气中的杂质对其造成的污染，方便对晶圆进行保护，提高实用性和可靠性。
[0005]本专利技术的一种晶圆生产切割用冷却设备，推送装置包括固定柱、环形滑轨、动力环、转动台、第一电机、转轴和齿轮，固定柱安装在工作台的顶部左侧，环形滑轨套装在固定柱的外壁上侧，环形滑轨的外壁上均匀滑动设置有多组弧形滑块，动力环套装在多组弧形滑块的外壁上，动力环的内壁下侧环形均匀设置有多组齿，转动台位于固定柱的上方，转动台的底部固定在动力环的顶部，转动台的顶部环形均匀设置有三组T型固定板，三组T型固定板的方向相对，三组T型固定板的位置分别与三组封板的位置对应，每组T型固定板上均设置有三组油缸推杆，每组T型固定板上的三组油缸推杆均成三角形分布，每组T型固定板上的三组油缸推杆的伸出端均穿过T型固定板并安装在对应的封板上，第一电机位于固定柱的前侧，第一电机安装在工作台的顶部左前侧，转轴安装在第一电机的上侧输出端上，齿轮安装在转轴的顶部，齿轮位于动力环的内部前侧并与动力环内壁下侧的齿啮合，中控箱分别与每组油缸推杆和第一电机信号连接；中控箱控制打开第一电机，第一电机通过转轴带动齿轮转动，齿轮与动力环上的齿啮合，齿轮带动动力环转动，动力环带动多组弧形滑块在环形滑轨上滑动，同时动力环带动转动台转动，转动台带动其上的每组T型固定板和每组油缸推杆转动，每组T型固定板上的三组油缸推杆带动对应的封板进行转动，从而实现对晶圆的旋转送料工作，同时当晶圆传送至转动台的右侧时，中控箱通过右侧T型固定板上的三组油缸推杆推动右侧封板向右移动，从而方便将右侧封板上的晶圆推送入冷却仓内，实现
晶圆的推送料工作。
[0006]本专利技术的一种晶圆生产切割用冷却设备，还包括安装台、两组直线导轨、两组直线滑块、两组第二电机、弓形架、两组传动轴、第三电机和同步带，安装台安装在工作台的左前侧，安装台的安装方向倾斜，两组直线导轨的方向均与安装台的方向对应，两组直线导轨均安装在安装台上，两组直线滑块分别滑动安装在两组直线导轨上，两组直线滑块上均穿插有丝杠，两组丝杠的方向均与安装台的安装方向对应，两组丝杠分别与两组直线滑块螺装连接，两组丝杠的左前侧和右本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆生产切割用冷却设备，其特征在于，包括工作台(1)、四组支腿(2)和三组封板(3)，四组支腿(2)均安装在工作台(1)的底部，工作台(1)的顶部左侧设置有推送装置，三组封板(3)环形均匀安装在推送装置的外侧，三组封板(3)的方向相对，每组封板(3)的外部上侧均设置有两组第一推杆(4)，每组封板(3)的外部下侧均设置有第一支撑板(5)，每组第一支撑板(5)的外侧均设置有细孔吸盘(6)，每组细孔吸盘(6)均与外界气泵连通，工作台(1)的顶部右侧设置有冷却仓(7)，冷却仓(7)的前侧设置有中控箱(8)，冷却仓(7)的左侧连通设置有通口，通口的右侧盖装有盖板(9)，盖板(9)的顶部通过弹簧(10)铰接在冷却仓(7)的内壁左上侧，盖板(9)的左侧均匀设置有多组喷头(11)，多组喷头(11)均位于通口内，多组喷头(11)的位置与每组封板(3)上的两组第一推杆(4)位置交错，盖板(9)的右侧设置有导气仓(12)，导气仓(12)与多组喷头(11)的右侧连通，冷却仓(7)的右下侧连通设置有第一气管(13)，第一气管(13)的下侧输入端倾斜，冷却仓(7)的顶部设置有制冷仓(14)，制冷仓(14)的内部竖向设置有螺旋制冷罐(15)，螺旋制冷罐(15)的内部上侧设置有散气斗(16)，制冷仓(14)的顶部设置有吸泵(17)，吸泵(17)的上侧输入端和下侧输出端分别与第一气管(13)的上侧输出端和散气斗(16)的上侧输入端连通，制冷仓(14)的左下侧连通设置有第二气管(18)，冷却仓(7)的顶部后侧竖向设置有导气桶(19)，导气桶(19)的底部伸入至冷却仓(7)内部上侧，第二气管(18)的后侧输出端安装在导气桶(19)的左下侧并与导气桶(19)内部连通，导气桶(19)的内部密封滑动设置有活塞块(20)，活塞块(20)的底部设置有第二推杆(21)，第二推杆(21)的底部穿过导气桶(19)的底部并伸入至冷却仓(7)内部，第二推杆(21)与导气桶(19)滑动密封连接，第二推杆(21)的底部转动设置有第三推杆(22)，第三推杆(22)倾斜，第三推杆(22)的底部转动安装在导气仓(12)的右上侧，导气仓(12)的右上侧连通设置有第三气管(23)，第三气管(23)的上侧输入端安装在导气桶(19)上，活塞块(20)对导气桶(19)上第二气管(18)的后侧输出端和第三气管(23)的上侧输入端进行封堵处理，中控箱(8)分别与推送装置、螺旋制冷罐(15)和吸泵(17)信号连接。2.如权利要求1所述的一种晶圆生产切割用冷却设备，其特征在于，推送装置包括固定柱(24)、环形滑轨(25)、动力环(27)、转动台(28)、第一电机(31)、转轴(32)和齿轮(33)，固定柱(24)安装在工作台(1)的顶部左侧，环形滑轨(25)套装在固定柱(24)的外壁上侧，环形滑轨(25)的外壁上均匀滑动设置有多组弧形滑块(26)，动力环(27)套装在多组弧形滑块(26)的外壁上，动力环(27)的内壁下侧环形均匀设置有多组齿，转动台(28)位于固定柱(24)的上方，转动台(28)的底部固定在动力环(27)的顶部，转动台(28)的顶部环形均匀设置有三组T型固定板(29)，三组T型固定板(29)的方向相对，三组T型固定板(29)的位置分别与三组封板(3)的位置对应，每组T型固定板(29)上均设置有三组油缸推杆(30)，每组T型固定板(29)上的三组油缸推杆(30)均成三角形分布，每组T型固定板(29)上的三组油缸推杆(30)的伸出端均穿过T型固定板(29)并安装在对应的封板(3)上，第一电机(31...

【专利技术属性】
技术研发人员：高洪庆，吴禹凡，
申请(专利权)人：苏州立科工业设计有限公司，
类型：发明
国别省市：