通道型真空标准漏孔检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种通道型真空标准漏孔检测装置，包括气源、稳压腔体、分子泵、机械泵、储气罐；被测通道型真空标准漏孔真空端连接稳压腔体，大气端同时连通气体流量计组、第一皂膜流量计、第二皂膜流量计；流量计组中最低检测流量大于第一皂膜流量计，第一皂膜流量计的检测流量大于第二皂膜流量计；稳压腔体与一组压力值由低到高的一组电容薄膜真空计各自可切断地连通；稳压腔体分别与分子泵、机械泵可切断地连通；稳压腔体与气可切断地连通；分子泵与储气罐连通；分子泵、储气罐与机械泵可切断地连通。本装置能够适应所有设定压力范围内的漏孔的漏率检测，测试方便，普适性高，测量精度高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
通道型真空标准漏孔检测装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种通道型真空标准漏孔检测装置及方法，属于漏孔检测


技术介绍

[0002]漏孔是在压力或浓度差作用下，使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙、渗透元件或一个封闭器壁上的其它结构。标准漏孔是在规定条件下，漏率是已知的一种校准用的漏孔。标准漏孔按气体通过泄漏元件的方式可分为渗透型标准漏孔和通道型标准漏孔，通道型标准漏孔是气密性检测设备测量漏率的标准，可用校准气密检漏仪、流量测试仪或作为设备点检、精度确认等使用，确保气密性检测设备运行的准确性，广泛应用于新能源汽车、家电日用品及医疗器械等行业。出口端为大气的是通道型正压标准漏孔，出口端为真空的是通道型真空标准漏孔。
[0003]目前现有技术中还没有校准装置和方法可对通道型真空标准漏孔进行检测，导致使用者一方无法准确的获悉通道型真空标准漏孔的准确度，所以研究通道型真空标准漏孔检测方法，研制一套通道型真空标准漏孔校准装置十分必要。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种通道型真空标准漏孔检测装置及方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通道型真空标准漏孔检测装置，其特征在于：包括气源(1)、稳压腔体(12)、分子泵(19)、机械泵(24)、储气罐(20)；被测通道型真空标准漏孔(13)真空端连接稳压腔体，大气端同时连通气体流量计组(14)、第一皂膜流量计、第二皂膜流量计；所述气体流量计组(14)中最低检测流量大于所述第一皂膜流量计，所述第一皂膜流量计的检测流量大于所述第二皂膜流量计；所述稳压腔体(12)与一组压力值由低到高的一组电容薄膜真空计各自可切断地连通；所述稳压腔体(12)分别与分子泵(19)、机械泵(24)可切断地连通；所述稳压腔体(12)与气源(1)可切断地连通；所述分子泵(19)与储气罐(20)连通；所述分子泵(19)、储气罐(20)与机械泵(24)可切断地连通。2.如权利要求1所述的通道型真空标准漏孔检测装置，其特征在于：所述气源(1)为空气或氮气。3.如权利要求1所述的通道型真空标准漏孔检测装置，其特征在于：所述稳压腔体(12)与分子泵(19)连通的通路中依次设有针阀和阀门；所述稳压腔体(12)与机械泵(24)连通的通路中依次设有针阀和阀门。4.如权利要求1所述的通道型真空标准漏孔检测装置，其特征在于：所述电容薄膜真空计组由1Torr、10Torr、100Torr和1000Torr的电容薄膜真空计组合而成，实现(1
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105)Pa的绝对压力测量。5.如权利要求1所述的通道型真空标准漏孔检测装置，其特征在于：所述第一皂膜流量计是5mL直读式玻璃管皂膜流量计(15)；所述第二皂膜流量计是1mL直读式玻璃管皂膜流量计(16)。6.如权利要求5所述的通道型真空标准漏孔检测装置，其特征在于：所述气体流量计组(14)的测量范围为(5～30000)mL/min；5mL直读式玻璃管皂膜流量计(15)测量范围为(1～5)mL/min；1mL直读式玻璃管皂膜流量计(16)测量范围为(0.1～1)mL/min，从而可实现(0.1～30000)mL/min的漏率测量。7.一种通道型真空标准漏孔检测方法，其特征在于：采用权利要求5中任意一项所述通道型真空标准漏孔检测装置，测量步骤：S1、将被测通道型真空标准漏孔(13)真空端接入稳压腔体(12)，根据被测漏孔标称漏率值选择相应的流量计与被测漏孔大气端相连接；S2、进行压力设置，具体包括以下步骤：S...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘贝贝，张忠立，王灿，许红，金愿，张斯宏，
申请(专利权)人：上海市计量测试技术研究院，
类型：发明
国别省市：