【技术实现步骤摘要】
一种红外光滤光片及其制备工艺
[0001]本专利技术涉及滤光片
,具体是一种红外光滤光片及其制备工艺。
技术介绍
[0002]目前,红外测温,红外探测和成像广泛应用物体的3
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5um和4
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14um的红外辐射,为了提高探测灵敏度,必须获得高红外透过的材料。基底大多是Ge片、Si片、MgF2晶片、KCl晶片、各类红外玻璃(以硫系玻璃为代表)等其他红外镜片。基片本身透过并不能满足实际应用,一般都要加镀减反增透层,一般使用波段具高折射率及低折射率膜层相互交叠组成,常使用的低折材料有ZnS/ZnSe/SiO/YF3等,高折材料有硅/锗等,或其他型混合材料。
[0003]类金刚石碳膜(DLC)在红外区域从2um直到50um以上的极好透明性、硬度高、化学性能稳定、不怕酸碱及有机液侵蚀、防潮、且与衬底有良好的粘附性能,使它成为红外光学器件的理想保护膜,由于a
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C:H膜的折射率在1.7
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2.3之间,很适合用作锗红外透镜的单均匀层保护、增透膜。然而其内应 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种红外光滤光片及其制备工艺,其特征在于:包括以下步骤:S1:基板材料的选择:选择树脂薄膜材料作为基板,并在基板中加入陶瓷粒子、蓝玻璃粒子、邻苯二胺钴络合染料和硫代双烯镍络合染料中的一种或多种;S2:镀膜材料的选择:选择氧化硅、氢化硅、氧化锌和氧化银作为镀膜材料;S3:基板的处理:对基板进行清洗烘干;S4:真空蒸镀处理:将基板一侧交替蒸镀氧化硅和氢化硅,交替蒸镀的层数为20
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40层;S5:重复步骤S4,在基板另一侧交替蒸镀氧化锌和氧化银,交替蒸镀的层数为16
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30层。2.根据权利要求1所述的一种红外光滤光片及其制备工艺,其特征在于:所述步骤S1中基板的制备是将树...
【专利技术属性】
技术研发人员:增田清志,增田博志,孟庆宣,
申请(专利权)人:苏州京浜光电科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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