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本发明涉及一种通道型真空标准漏孔检测装置，包括气源、稳压腔体、分子泵、机械泵、储气罐；被测通道型真空标准漏孔真空端连接稳压腔体，大气端同时连通气体流量计组、第一皂膜流量计、第二皂膜流量计；流量计组中最低检测流量大于第一皂膜流量计，第一皂膜流...
该专利属于上海市计量测试技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过上海市计量测试技术研究院授权不得商用。

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