一种抗静电热减粘保护膜及其制备方法技术

本发明专利技术涉及保护膜技术领域，特指抗静电热减粘保护膜及其制备方法,所述抗静电热减粘保护膜包括有基材层；所述基材层的两表面上均涂布有抗静电底涂层；其中抗静电底涂层的表面上涂布有丙烯酸酯胶层；所述丙烯酸酯胶层的表面上设置有有机硅离型膜，通过该静电热减粘保护膜及其制备方法，低阻抗值、低静电压、更长时间的抗静电效果，降低杂质污染，提升被贴合产品的制程良率。的制程良率。

【技术实现步骤摘要】
一种抗静电热减粘保护膜及其制备方法


[0001]本专利技术涉及保护膜
，特指一种抗静电热减粘保护膜及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着半导体生产制造技术的飞速发展，其对制程中中功能保护膜的性能要求亦是越来越高。在晶圆切割或基板切割，背面研磨，减薄制程中等加工过程中，常见使用一种热减粘保护膜进行贴合，要求其在贴合晶圆时具有粘性1200gf/25mm以上，加热后粘性则降到1gf/25mm以下。热减粘保护膜通常使用PO（聚烯烃）或PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）作为基材，由于PO和PET本身的塑料绝缘属性，使用过程非常容易产生静电现象。静电电压易导致产品被击穿或电气性能不良，同时易引起周围灰尘的吸附，造成杂质污染，进而引起产品质量异常。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种抗静电热减粘保护膜及其制备方法。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：本专利技术所述的一种抗静电热减粘保护膜，所述抗抗静电热减粘保护膜包括有基材层；所述基材层的两表面上均涂布有抗静电底涂层；其中抗静电底涂层的表面上涂布有丙烯酸酯胶层；所述丙烯酸酯胶层的表面上设置有机硅离型膜。
[0005]进一步地，所述基材层是表面Ra值为0.01～0.6μm、表面张力为38～60dyn/cm和厚度为25～50μm的有机薄膜。
[0006]进一步地，所述有机硅离型膜的离型力为5～20gf/inch，残余粘着率为90%以上，表面Ra值为0.01～0.2μm。r/>[0007]进一步地，由外涂型抗静电剂和溶剂充分混合成为外抗静电配液后，将上述的外抗静电配液通涂布在所述基材层上后烘烤固化成厚度为0.5～4μm的抗静电底涂层。
[0008]进一步地，通过丙烯酸酯胶、塑化剂和能溶解丙烯酸酯胶的稀释溶剂充分混合为丙烯酸酯胶配剂，在丙烯酸酯胶配剂内加入稀释好的固化剂至完全分散为含有固化剂的丙烯酸酯胶配剂，再在上述制得含有固化剂的丙烯酸酯胶配剂内添加内加型抗静电剂和膨胀微球直到完全分散为丙烯酸酯胶层配剂；将丙烯酸酯胶层配剂涂布在其中一层抗静电底涂层表面上烘烤固化成厚度为10～20μm的丙烯酸酯胶层。
[0009]进一步地，所述膨胀微球粒径为7～25μm。
[0010]为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：包括如下步骤：a、通过将90～110重量份的外涂型抗静电剂加入100～300重量份的去离子水充分混合均为成为外抗静电配液，在基材层的两表面上均涂布上外抗静电配液，在温度40～60℃烘烤30秒～60秒固化，使得在基材层的两表面上均形成抗静电底涂层；b、取0.1～2.0重量份的固化剂和5～20重量份能溶解固化剂的溶剂混合为固化剂
配液；取90～110重量份的丙烯酸酯胶、5～20重量份能稀释丙烯酸酯胶的溶剂和3～13重量份的塑化剂充分混合为固化剂的丙烯酸酯胶配剂，将上述制得的固化剂配液和上述制得的抗静电底涂层固化剂的丙烯酸酯胶配剂混合后加入0.5～4.0重量份的内加型抗静电剂和2～15重量份的膨胀微球充分搅拌分散为丙烯酸酯胶层配剂；将上述制得的丙烯酸酯胶层配剂涂布在步骤a中基材层上其中一表面上的抗静电底涂层上，在温度75～90℃烘烤30秒～120秒固化成厚度为10～20μm丙烯酸酯胶层；c、在丙烯酸酯胶层的表面上复合一层厚度为25～50μm的有机硅离型膜，制成未熟化的抗静电热减粘保护膜；其中，有机硅离型膜的离型力为5gf/inch，残余粘着率为90%，表面Ra值为0.1μm，表面张力为54dyn/cm；离型膜层为PET基材上做有机硅涂层，有机硅为八甲基环四硅氧烷。
[0011]d、步骤c中未熟化的抗静电热减粘保护膜放入25～50℃熟化房内存放48～168小时，得到完全熟化后的抗静电热减粘保护膜。
[0012]本专利技术与现有技术相比的有益效果是：1、基材上胶面进行抗静电涂层处理，对丙烯酸胶层混入抗静电剂增强导电性，这种采用双重抗静电的效果，使抗静电热减粘膜具有低阻抗值、低静电压、更长时间的抗静电效果。
[0013]2、采用了加入塑化剂的做法，有效地降低丙烯酸酯胶层的硬度和弹性模量，并增加断裂伸长率、柔韧性和可塑性等方面性能，避免高温后残胶缺陷。同时，由于塑化剂会增加大分子链间的距离，使分子运动更为容易，提高了丙烯酸酯胶的孔隙率，有利于抗静电剂向丙烯酸酯胶面迁移发挥抗静电作用。
[0014]3、对基材背面抗静电涂层处理，使基材背面亦具有抗静电效果，这种双面抗静电的结构可有效避免抗静电减粘保护膜吸附周围灰尘，降低杂质污染，提升被贴合产品的制程良率。
具体实施方式
[0015]下面结合具体实施例对本专利技术进行详细描述，下述实施例及说明仅用来解释本专利技术，但并不作为对本专利技术的限定。
[0016]实施例1：生产本专利技术抗静电热减粘保护膜的方法，包括以下步骤：a、通过将110重量份的外涂型抗静电剂加入300重量份的去离子水充分混合均为成为外抗静电配液，在表面Ra值为0.01μm、表面张力为38dyn/cm和厚度为25μm的有机薄膜的有机薄膜两表面上均涂布上外抗静电配液，在温度40℃烘烤60秒固化，使得在有机薄膜的两表面上均形成0.5μm的抗静电底涂层；其中，机薄膜为PET膜、PO膜、PP膜、PE膜中的一种的任意一种；所述外涂型抗静电剂为硬脂酰胺丙基羟乙基季胺硝酸盐、硬脂基三甲基季铵盐酸盐、第四级铵盐、磷酸盐、烷基甜菜素型、烷基咪唑淋型、POE衍生物、烷胺、聚乙烯基苯基三甲基氨盐、聚苯烯磺酸盐中的一种或多种组合。
[0017]b、取2.0重量份的固化剂和5重量份能溶解固化剂的溶剂混合为固化剂配液；取110重量份的丙烯酸酯胶、20重量份的能稀释丙烯酸酯胶的溶剂和13重量份的塑化剂充分混合为固化剂的丙烯酸酯胶配剂，将上述制得的固化剂配液和上述制得的抗静电底涂层固
化剂的丙烯酸酯胶配剂混合后加入4.0重量份的内加型抗静电剂和15重量份粒径为25μm的膨胀微球充分搅拌分散为丙烯酸酯胶层配剂；将上述制得的丙烯酸酯胶层配剂涂布在步骤a中基材层上其中一表面上的抗静电底涂层上，在温度80℃烘烤30秒固化成厚度为15μm的丙烯酸酯胶层；其中，用于稀释丙烯酸酯胶的溶剂为乙酸乙酯、丁酮、丙酮、异丙醇、甲苯中的一种或多种；所述塑化剂为脂肪族二元酸酯类、偏苯三酸三辛酯、邻苯二甲酸二辛酯、对苯二甲酸二辛酯、苯多酸酯类、苯甲酸酯类、多元醇酯类、氯化烃类中的一种或多种组合；内加型抗静电剂为聚丙烯酸盐、马来酸酐和其它不饱和单体共聚物的盐、聚苯乙烯苯磺酸、四溴双酚A、硬脂酸单甘油酯类、银、铜、镍、锌碳系、导电性碳、氧化铟锡、氧化镉锡、双三氟甲磺酰亚胺离子复配盐、三丁基甲基铵双三氟甲磺酰亚胺盐、聚环氧乙烷、聚醚酯酰胺、含季铵盐的 (甲基)丙烯酸酯共聚物和含亲水基的有机硅中的一种或多种组合；c、在丙烯酸酯胶层的表面上复合一层离型力为20gf/inch，残余粘着率为90%以上，表面Ra值为0.01μm，厚度为50μm的有机硅离型膜，制成未熟化的抗静电热减粘保护膜；所述离型膜层为P本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抗静电热减粘保护膜，其特征在于：所述抗静电热减粘保护膜包括有基材层；所述基材层的两表面上均涂布有抗静电底涂层；其中抗静电底涂层的表面上涂布有丙烯酸酯胶层；所述丙烯酸酯胶层的表面上设置有机硅离型膜。2.根据权利要求1所述的一种抗静电热减粘保护膜，其特征在于：所述基材层是表面Ra值为0.01～0.6μm、表面张力为38～60dyn/cm和厚度为25～50μm的有机薄膜。3.根据权利要求1所述的一种抗静电热减粘保护膜，其特征在于：所述有机硅离型膜的离型力为5～20gf/inch，残余粘着率为90%以上，表面Ra值为0.01～0.2μm。4.根据权利要求1所述的一种抗静电热减粘保护膜，其特征在于：由外涂型抗静电剂和溶剂充分混合成为外抗静电配液后，将上述的外抗静电配液通涂布在所述基材层上后烘烤固化成厚度为0.5～4μm的抗静电底涂层。5.根据权利要求1所述的一种抗静电热减粘保护膜，其特征在于：通过丙烯酸酯胶、塑化剂和能溶解丙烯酸酯胶的稀释溶剂充分混合为丙烯酸酯胶配剂，在丙烯酸酯胶配剂内加入稀释好的固化剂至完全分散为含有固化剂的丙烯酸酯胶配剂，再在上述制得含有固化剂的丙烯酸酯胶配剂内添加内加型抗静电剂和膨胀微球直到完全分散为丙烯酸酯胶层配剂；将丙烯酸酯胶层配剂涂布在其中一层抗静电底涂层表面上烘烤固化成厚度为10～20μm的丙烯酸酯胶层。6.根据权利要求5所述的一种抗静电热减粘保护膜，其特征在于：所述膨胀微球粒径为7～25μm。7.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维林，刘泓铭，林志耿，任华伟，
申请(专利权)人：镝普材料深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：