一种应用于长晶组件的测量及定位装置制造方法及图纸

本申请公开了一种应用于长晶组件的测量及定位装置，长晶组件包括具有开放空腔的第一石墨件，装置包括：载物台，用于承载第一石墨件；载物台的外侧设有第一测距器和第二测距器，所述第一测距器用于测量其到所述第一石墨件的外壁之间的距离，所述第二测距器用于测量其到所述第一石墨件的空腔侧壁之间的距离。本申请提供的用于长晶组件的测量及定位装置，通过在载物台的外侧设置第一测距器和第二测距器，使其在不直接接触待测的第一石墨件的情况下，能够测量并计算放置在载物台上的待测第一石墨件的壁厚，以及第一石墨件在载物台上或者相对于第二石墨件是否为同轴放置，避免杂质污染的同时，具有更高的测量准确度，还能有效提高工作效率。高工作效率。高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于长晶组件的测量及定位装置


[0001]本申请属于测量装置
，具体涉及一种应用于长晶组件的测量及定位装置。

技术介绍

[0002]在碳化硅工业领域，长晶是用于制备碳化硅单晶的必经工艺步骤。现有技术中在制备碳化硅单晶时，多采用PVT法进行长晶，并使用石墨坩埚作为长晶的容器。
[0003]其中，石墨坩埚在使用前或使用后，需要对其侧壁多处位置的壁厚进行测量，现有的测量方法通常为使用金属制成的游标卡尺进行手动测量，然而，在手动测量的过程中容易出现较大的尺寸偏差，并且金属卡尺在测量时直接接触石墨坩埚，容易对石墨坩埚造成污染，影响后期长晶的品质；此外，在测量石墨坩埚的多个位置时需要多次移动石墨坩埚，容易对石墨坩埚造成损伤，并且测量效率十分低下。
[0004]与此同时，石墨坩埚在使用前还需要与其它构件装配，并要求石墨坩埚在其他构件上方居中放置，即要求石墨坩埚与其它构件同轴。而目前现场使用的将石墨坩埚居中放置的方法，通常仅采用目测结合用量具测量的方式进行，同样存在定位不精准，并且测量效率低下的问题。
技术内容
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述长晶组件包括具有开放空腔的第一石墨件，所述装置包括：载物台，用于承载所述第一石墨件；所述载物台的外侧设有第一测距器和第二测距器，所述第一测距器用于测量其到所述第一石墨件的外壁之间的距离，所述第二测距器用于测量其到所述第一石墨件的空腔侧壁之间的距离。2.根据权利要求1所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述载物台是石墨托盘，所述石墨托盘的底部连接有旋转轴和用于驱动所述旋转轴的旋转电机。3.根据权利要求1所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述长晶组件还包括第二石墨件，所述第二石墨件在使用状态下位于所述第一石墨件的底部；所述第一测距器连接有第一升降杆，以使得所述第一测距器测量其到所述第二石墨件之间的距离。4.根据权利要求3所述的应用于长晶组件的测量及定位装置，其特征在于，所述装置包括多个第一测距器，所述多个第一测距器与所述载物台之间的距离相等。5.根据权利要求3所述的应用于长...

【专利技术属性】
技术研发人员：张超，李钊，张耀文，湛希栋，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：