下载一种应用于长晶组件的测量及定位装置的技术资料

文档序号:28099205

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本申请公开了一种应用于长晶组件的测量及定位装置,长晶组件包括具有开放空腔的第一石墨件,装置包括:载物台,用于承载第一石墨件;载物台的外侧设有第一测距器和第二测距器,所述第一测距器用于测量其到所述第一石墨件的外壁之间的距离,所述第二测距器用于...
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