全自动正面金属腐蚀装置制造方法及图纸

全自动正面金属腐蚀装置。涉及一种半导体湿法加工设备，尤其涉及全自动正面金属腐蚀装置。提供了一种结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率的全自动正面金属腐蚀装置。包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；所述直线驱动机构竖向设置；所述横杆的一端与所述直线驱动机构固定连接，通过所述直线驱动机构上下运动；所述横杆的另一端与所述空心架体的顶部固定连接；所述片架支撑台固定设置在所述空心架体的底部；所述滚轮水平活动设置，通过所述滚轮传动机构在所述片架支撑台的中部位置带动片架上的硅片转动。本实用新型专利技术具有结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率等特点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
全自动正面金属腐蚀装置


[0001]本技术涉及一种半导体湿法加工设备，尤其涉及全自动正面金属腐蚀装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造行业中，随着产线生产力的提高，湿法腐蚀技术得到更广泛的运用，湿法腐蚀的效率要求也越来越高，工程师在优化工艺流程的同时，也需要对湿法设备进行全面改造。原有的湿法腐蚀工艺是将若干硅片依次放入片架的卡槽内，通过移动架支撑片架在盛有腐蚀液的腐蚀槽内腐蚀，在腐蚀过程中，NiAg/NiAl腐蚀生成物H2易阻挡在硅片表面，影响酸和硅片的接触，使反应变慢。

技术实现思路

[0003]本技术针对以上问题，提供了一种结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率的全自动正面金属腐蚀装置。
[0004]本技术的技术方案是：包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；
[0005]所述直线驱动机构竖向设置；
[0006]所述横杆的一端与所述直线驱动机构固定连接，通过所述直线驱动机构上下运动；
[0007]所述横杆的另一端与所述空心架体的顶部固定连接；
[0008]所述片架支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.全自动正面金属腐蚀装置，其特征在于，包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；所述直线驱动机构竖向设置；所述横杆的一端与所述直线驱动机构固定连接，通过所述直线驱动机构上下运动；所述横杆的另一端与所述空心架体的顶部固定连接；所述片架支撑台固定设置在所述空心架体的底部；所述滚轮水平活动设置，通过所述滚轮传动机构在所述片架支撑台的中部位置带动片架上的硅片转动。2.根据权利要求1所述的全自动正面金属腐蚀装置，其特征在于，所述直线驱动机构包括支撑框架、丝杠、丝杠螺母、连接板和一对导轨；一对所述导轨竖向固定设置在所述支撑框架上；所述丝杠竖向设置在所述支撑框架的中部，位于一对所述导轨之间，并通过电机一驱动旋转；所述丝杠螺母与所述丝杠相适配，套设在所述丝杠上；所述连接板与所述丝杠螺母固定连接，通过一对所述导轨在所述丝杠上升降运动。3.根据权利要求1所述的全自动正面金属腐蚀装置，其特征在于，所述直线驱动机构为气缸、油缸或电动推杆。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐红梅，季恒健，王毅，
申请(专利权)人：扬州扬杰电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：