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全自动正面金属腐蚀装置。涉及一种半导体湿法加工设备，尤其涉及全自动正面金属腐蚀装置。提供了一种结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率的全自动正面金属腐蚀装置。包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；所述直线驱动机构竖向设...
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