本实用新型专利技术公开了一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，涉及半导体生产装置技术领域，针对现有的生产不稳定的问题，现提出如下方案，其包括生产箱和齿轮组，所述生产箱的中间固定连接有的分隔板，所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱，所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴，所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆，本实用新型专利技术结构简单，使用方便，可以实现放置板多角度的调节，改变与散气箱的相对位置，同时可以改变喷气箱出气的位置，保证原料生长的稳定和均匀，进而保证成品的质量，降低废品率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置
[0001]本技术涉及半导体生产装置
，尤其涉及一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置。
技术介绍
[0002]外延生长是指在单晶衬底(基片)上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段，外延生长的新单晶层可在导电类型、电阻率等方面与衬底不同，还可以生长不同厚度和不同要求的多层单晶，从而大大提高器件设计的灵活性和器件的性能。
[0003]现有的装置一般都是将装置放置到指定的位置上固定，在喷气时，可能气流不完全能由人为控制，使得局部的外延可能有一定的误差，影响产品的质量。
技术实现思路
[0004]本技术提出的一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，解决了生产不稳定的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，包括生产箱和齿轮组，所述生产箱的中间固定连接有的分隔板，所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱，所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴，所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆，所述旋转杆的顶部转动连接有位于分隔板上方的放置板，所述放置板内设置有多个加热丝，所述第一电机的外侧设置有多个与生产箱固定连接的第二电机，所述第二电机的输出端通过齿轮组连接有第二变速箱，所述第二变速箱通过齿轮组固定套接有丝杆，所述丝杆的外壁螺旋传动配合有移动杆，且移动杆的顶端与放置板转动连接连接，所述生产箱的上侧通过弹簧铰链转动连接有开启盖，所述开启盖的一侧连接有位于放置板上方的生产装置。
[0007]优选的，所述生产装置包括与开启盖固定连接的功能块，所述功能块的上侧固定连接有与开启盖固定连接的进气管，且进气管的另一端连接有软管，所述软管的一端连接有喷气箱，所述功能块内固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端通过联轴器固定连接有与功能块转动连接的转动轴，所述转动轴的外壁固定套接有支撑块，所述支撑块的一侧固定连接有固定筒，所述固定筒内固定连接有的伸缩杆，所述伸缩杆的输出端固定连接有与固定筒套接的移动筒，所述移动筒与喷气箱固定连接。
[0008]优选的，所述功能块内设置有容纳槽，所述支撑块位于容纳槽内，所述功能块上固定连接有与转动轴转动连接的稳定块。
[0009]优选的，所述喷气箱内固定连接有散气板，所述散气板和喷气箱的一侧均设置有多个通气孔。
[0010]优选的，所述移动杆的顶部滚动连接有多个滚珠，滚珠与放置板滚动连接。
[0011]优选的，所述开启盖的一侧固定连接有限定圈，所述限定圈与生产箱滑动调节。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]1：通过齿轮组合变速箱的传递，可以实现较大的传动比，实现微量的调节，同时各个装置之间的相互配合，可以实现放置板多角度的调节，改变与散气箱的相对位置，同时经过多个装置的配合，可以改变喷气箱出气的位置，两者相互配合，可以保证原料生长的稳定和均匀，进而保证成品的质量，降低废品率。
[0014]2：通过可以旋转的开启盖，可以方便的取出喷气箱，进而方便对内部各个装置的维护和清理，保证后续工作的进行，降低工人的劳动强度，保证生产的进行。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置的主视剖视示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置的左视剖视示意图
[0017]图3为本技术提出的一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置的A处放大示意图。
[0018]图中标号：1、生产箱；2、加热丝；3、喷气箱；4、功能块；5、开启盖；6、放置板；7、分隔板；8、齿轮组；9、第二电机；10、第二变速箱；11、丝杆；12、第一电机；13、第一变速箱；14、旋转轴；15、旋转杆；18、移动杆；19、转动轴；20、支撑块；21、移动筒；22、软管；23、伸缩杆；24、散气板；25、固定筒；26、第三电机；27、进气管。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1
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3，一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，包括生产箱1和齿轮组8，生产箱1的中间固定连接有的分隔板7，分隔板7的下方设置有与生产箱1固定连接的第一电机12，第一电机12的输出端通过齿轮组8连接有第一变速箱13，第一变速箱13通过齿轮组8固定套接有与生产箱1转动连接的旋转轴14，旋转轴14的外壁滑动套接有旋转杆15，旋转杆15的顶部转动连接有位于分隔板7上方的放置板6，放置板6内设置有多个加热丝2，第一电机12的外侧设置有多个与生产箱1固定连接的第二电机9，第二电机9的输出端通过齿轮组8连接有第二变速箱10，第二变速箱10通过齿轮组8固定套接有丝杆11，丝杆11的外壁螺旋传动配合有移动杆18，且移动杆18的顶端与放置板6转动连接连接，生产箱1的上侧通过弹簧铰链转动连接有开启盖5，开启盖5的一侧连接有位于放置板6上方的生产装置，在进行工作时，将需要生长的原料放置到放置板6上，进行准备，在生产过程中，根据生长的需要，启动第二电机9，通过齿轮组8的传动，传动到第二变速箱10上，进一步的带动丝杆11转动，在分隔板7的限定下，移动杆18进行移动，进而使得放置板6的位置上升或者下降，同时在必要时，控制第二电机9，使得放置板6倾斜，进而改变原料与生产装置的距离，同时也可以控制第一电机12工作，通过齿轮组8和第一变速箱13的传动，带动放置板6转动，同时配合着不同
加热丝2的通电加热，改变局部的温度，进而实现不同的生长速度，保证整个原料生产的稳定。
[0021]生产装置包括与开启盖5固定连接的功能块4，功能块4的上侧固定连接有与开启盖5固定连接的进气管27，且进气管27的另一端连接有软管22，软管22的一端连接有喷气箱3，功能块4内固定连接有第三电机26，第三电机26的输出端通过联轴器固定连接有与功能块4转动连接的转动轴19，转动轴19的外壁固定套接有支撑块20，支撑块20的一侧固定连接有固定筒25，固定筒25内固定连接有的伸缩杆23，伸缩杆23的输出端固定连接有与固定筒25套接的移动筒21，移动筒21与喷气箱3固定连接，在进行生产时，进气管27连接外界的原料，开始进气，然后经过软管22进入到喷气箱3中，然后排出，保证生长的需要，同时在必要时，可以控制第三电机26进行工作，带动转动轴19和支撑块20进行转动，进一步的带动移动筒21和固定筒25进行转动，进而带动喷气箱3微量进行转动，同时伸缩杆23进行延伸和缩回，进而实现喷气位置的改变，进而保证生产的稳定，提高成品的质量。
[0022]功能块4内设置有容纳槽，支撑块20位于容纳槽内，功能块4上固定连接有与转动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，包括生产箱(1)和齿轮组(8)，其特征在于，所述生产箱(1)的中间固定连接有的分隔板(7)，所述分隔板(7)的下方设置有与生产箱(1)固定连接的第一电机(12)，所述第一电机(12)的输出端通过齿轮组(8)连接有第一变速箱(13)，所述第一变速箱(13)通过齿轮组(8)固定套接有与生产箱(1)转动连接的旋转轴(14)，所述旋转轴(14)的外壁滑动套接有旋转杆(15)，所述旋转杆(15)的顶部转动连接有位于分隔板(7)上方的放置板(6)，所述放置板(6)内设置有多个加热丝(2)，所述第一电机(12)的外侧设置有多个与生产箱(1)固定连接的第二电机(9)，所述第二电机(9)的输出端通过齿轮组(8)连接有第二变速箱(10)，所述第二变速箱(10)通过齿轮组(8)固定套接有丝杆(11)，所述丝杆(11)的外壁螺旋传动配合有移动杆(18)，且移动杆(18)的顶端与放置板(6)转动连接连接，所述生产箱(1)的上侧通过弹簧铰链转动连接有开启盖(5)，所述开启盖(5)的一侧连接有位于放置板(6)上方的生产装置。2.根据权利要求1所述的一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，其特征在于，所述生产装置包括与开启盖(5)固定连接的功能块(4)，所述功能块(4)的上侧固定连接有与开启盖(5)固定连接的进气管(27)，且进气管...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴思，
申请(专利权)人：南京南大光电工程研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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