【技术实现步骤摘要】
一种料盒
[0001]本技术涉及一种料盒。
技术介绍
[0002]随着半导体行业的快速发展,在半导体装置的基板作业过程中,需要使用料盒对基板进行装载。不同宽度尺寸的基板需要不同料盒进行装载,机台在进行样品验证时,作业不同宽度尺寸的基板,需要多个料盒进行装载,这给人员和料盒放置空间,带来不便。
[0003]因此,需要提供一种料盒,解决传统料盒无法实现承载多个宽度尺寸基板的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于,针对
技术介绍
中提及的传统料盒无法实现承载多个宽度尺寸基板的问题,提供一种料盒。
[0005]为此,本技术的上述目的通过以下技术方案来实现:
[0006]一种料盒,所述料盒包括料盒本体,其特征在于:所述料盒本体内设有固定区和活动调节区,所述料盒本体的固定区内的空间大小固定,所述料盒本体的活动调节区内空间大小可调节;所述料盒本体的固定区内自下而上设有多个相对布置的料槽,所述料盒本体的固定区内的料槽用于分别固定基板的两端,所述料盒本体的活动调节区内设有多个伸缩板,伸缩板之间相互平 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种料盒,所述料盒包括料盒本体,其特征在于:所述料盒本体内设有固定区和活动调节区,所述料盒本体的固定区内的空间大小固定,所述料盒本体的活动调节区内空间大小可调节;所述料盒本体的固定区内自下而上设有多个相对布置的料槽,所述料盒本体的固定区内的料槽用于分别固定基板的两端,所述料盒本体的活动调节区内设有多个伸缩板,伸缩板之间相互平行布置,所述伸缩板的一端连接至料盒本体的内侧壁上,所述伸缩板的另一端为自由端且长度可调节,所述伸缩板上用于承载窄宽度基板。2.根据权利要求1所述的料盒,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:何正鸿,
申请(专利权)人:甬矽电子宁波股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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