一种OLED制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蒸镀设备领域，公开一种OLED制备装置。所述OLED制备装置包括存储单元、搬运单元和至少一个蒸镀单元，存储单元包括高度可调的存放架，存放架用于分层存放玻璃基片和掩膜板；蒸镀单元包括基片样品架，基片样品架用于将玻璃基片和掩膜板对位贴合或分离；搬运单元用于将存储单元内的玻璃基片或掩膜板可选择地搬运至一个蒸镀单元的基片样品架上。本实用新型专利技术提供的OLED制备装置，成膜种类多样化，能够同时满足多种镀膜工艺的需求。能够同时满足多种镀膜工艺的需求。能够同时满足多种镀膜工艺的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种OLED制备装置


[0001]本技术涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种OLED制备装置。

技术介绍

[0002]有机薄膜电致发光显示器件(Organic Light
‑
Emitting Diode，简称OLED)是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED照明产品的低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点，使其成为未来照明产品发展的主流趋势之一。
[0003]OLED显示器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，现有单腔体镀膜机存在以下缺点：成膜种类单一，无法同时满足多种镀膜工艺的需求。

技术实现思路

[0004]基于以上问题，本技术的目的在于提供一种OLED制备装置，成膜种类多样化，能够同时满足多种镀膜工艺的需求。
[0005]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种OLED制备装置，包括：
[0007]存储单元，包括高度可调的存放架，所述存放架用于分层存放玻璃基片和掩膜板；
[0008]至少一个蒸镀单元，所述蒸镀单元包括基片样本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED制备装置，其特征在于，包括：存储单元(1)，包括高度可调的存放架(11)，所述存放架(11)用于分层存放玻璃基片和掩膜板；至少一个蒸镀单元，所述蒸镀单元包括基片样品架(21)，所述基片样品架(21)用于将所述玻璃基片和所述掩膜板对位贴合或分离；搬运单元(3)，用于将所述存储单元(1)内的所述玻璃基片或所述掩膜板可选择地搬运至一个所述蒸镀单元的所述基片样品架(21)上。2.根据权利要求1所述的OLED制备装置，其特征在于，所述搬运单元(3)包括机械手(31)和托架(32)，所述机械手(31)能够伸至所述存放架(11)和所述基片样品架(21)，所述托架(32)设置于所述机械手(31)上，用于承载所述玻璃基片或所述掩膜板。3.根据权利要求2所述的OLED制备装置，其特征在于，所述搬运单元(3)还包括基座(33)，所述机械手(31)包括转动连接的第一臂(311)和第二臂(312)，所述第一臂(311)转动连接于所述基座(33)上，所述托架(32)转动连接于所述第二臂(312)上，所述第一臂(311)、所述第二臂(312)和所述托架(32)的转动轴线互相平行。4.根据权利要求1所述的OLED制备装置，其特征在于，所述基片样品架(21)包括基片盘组件(211)、掩膜架组件(212)和升降单元(213)，所述基片盘组件(211)用于承载所述玻璃基片，所述掩膜架组件(212)用于承载所述掩膜板，所述升降单元(213)能够驱动所述基片盘组件(211)下降或上升，以使所述玻璃基片和所述掩膜板对位贴合或分离。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖良生，黄稳，武启飞，李涛，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：