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本实用新型涉及蒸镀设备领域,公开一种OLED制备装置。所述OLED制备装置包括存储单元、搬运单元和至少一个蒸镀单元,存储单元包括高度可调的存放架,存放架用于分层存放玻璃基片和掩膜板;蒸镀单元包括基片样品架,基片样品架用于将玻璃基片和掩膜板对...该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及蒸镀设备领域,公开一种OLED制备装置。所述OLED制备装置包括存储单元、搬运单元和至少一个蒸镀单元,存储单元包括高度可调的存放架,存放架用于分层存放玻璃基片和掩膜板;蒸镀单元包括基片样品架,基片样品架用于将玻璃基片和掩膜板对...