一种氮化硼坩埚氧化装置及氮化硼坩埚的安装结构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氮化硼坩埚氧化装置，包括加热套、加热管、惰性气体进管、管塞、氧气进管、氧气出管和支架；加热套安装在支架上；加热管水平地设置在加热套内；加热管一端为封端结构、另一端为敞口结构，管塞活动设置在加热管敞口一端内侧、且管塞与加热管内侧壁之间留有间隙，加热管内底部设有坩埚支撑座；惰性气体进管的进气端位于加热管外、出气端从加热管的封端一端伸入加热管内，氧气进管的进气端位于加热管外、出气端穿过管塞伸入加热管内，氧气出管的出气端位于加热管外、进气端从加热管的封端一端伸入加热管内。上述装置可以有效氧化氮化硼坩埚内壁，同时有效防止氮化硼坩埚外壁被氧化，延长了坩埚的使用寿命，节省了成本，方便了脱模。方便了脱模。方便了脱模。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化硼坩埚氧化装置及氮化硼坩埚的安装结构


[0001]本技术涉及一种氮化硼坩埚氧化装置及氮化硼坩埚的安装结构，属于氮化硼坩埚氧化领域。

技术介绍

[0002]氮化硼坩埚是生长Ⅲ、
Ⅴ
族化合物半导体晶圆棒的最常用的设备，但存在造价高昂、壁薄，易损坏、使用寿命短的特点。
[0003]为了确保生长晶体的质量和后续便于脱模，氮化硼坩埚不能直接使用，需要先在内部氧化一层薄薄的氧化膜。现有的氧化设备，会在氧化腔体内直接通入氧气，导致氮化硼坩埚内外壁都会被氧化，壁厚进一步缩减，并破坏了坩埚的硬度，大大减少了使用寿命，只能使用3
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5次就会损坏，而一个氮化硼坩埚造价约5000
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8000元，造成大量的成本浪费。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种氮化硼坩埚氧化装置及氮化硼坩埚的安装结构，可只氧化氮化硼坩埚内壁，外壁在惰性气体(氮气等)的保护下，不被氧化，有效增加了坩埚的使用寿命和晶体生长的成晶率，并为后续脱模做好准备；结构简单，方便操作，可控性好。
[0005]为解决上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化硼坩埚氧化装置，其特征在于：包括加热套、加热管、惰性气体进管、管塞、氧气进管、氧气出管和支架；加热套安装在支架上；加热管水平地设置在加热套内；加热管一端为封端结构、另一端为敞口结构，管塞活动设置在加热管敞口一端内侧、且管塞与加热管内侧壁之间留有间隙，加热管内底部设有坩埚支撑座；惰性气体进管、氧气进管和氧气出管均为一端为进气端、另一端为出气端，惰性气体进管的进气端位于加热管外、出气端从加热管的封端一端伸入加热管内，氧气进管的进气端位于加热管外、出气端穿过管塞伸入加热管内，氧气出管的出气端位于加热管外、进气端从加热管的封端一端伸入加热管内。2.如权利要求1所述的氮化硼坩埚氧化装置，其特征在于：加热管内底部设有沿轴向设置的两个以上的坩埚支撑座。3.如权利要求1或2所述的氮化硼坩埚氧化装置，其特征在于：加热管、惰性气体进管、氧气进管和氧气出管均为石英管。4.如权利要求1或2所述的氮化硼坩埚氧化装置，其特征在于：支架包括支撑面和支撑腿，支撑腿有两组、且相对设置在支撑面底部两端；加热套安装在支撑面上。5.一种氮化硼坩埚在权利要求1
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4任意一项所述的氮化硼坩埚氧化装置中的安装结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔印彬，
申请(专利权)人：中锗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：