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本实用新型公开了一种氮化硼坩埚氧化装置，包括加热套、加热管、惰性气体进管、管塞、氧气进管、氧气出管和支架；加热套安装在支架上；加热管水平地设置在加热套内；加热管一端为封端结构、另一端为敞口结构，管塞活动设置在加热管敞口一端内侧、且管塞与加热...
该专利属于中锗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中锗科技有限公司授权不得商用。

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