【技术实现步骤摘要】
一种用于不锈钢液冷板的安装结构
[0001]本技术涉及一种用于不锈钢液冷板的安装结构。
技术介绍
[0002]真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术,有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法,该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中,对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高,并且在镀膜过程中会产生大量的热,影响镀膜效果,现有的散热结构安装复杂,且散热效果不好。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足,提供一种连接方便的一种用于不锈钢液冷板的安装结构。
[0004]一种用于不锈钢液冷板的安装结构,包括铜背板,液冷板、固定板和中心柱,所述的液冷板位于铜背板与固定板之间,液冷板为轴对称的结构,液冷板在对称轴的两侧各设有一个向上的第一凸起,第一凸起的上表面与铜背板相接触,第一凸起与中心柱之间设有压条,第一凸起与固定板之间设有垫条,液冷板在第一凸起的外侧各设有一个向下的第二凸起,第二凸起的下表面与压 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于不锈钢液冷板的安装结构,包括铜背板,液冷板、固定板和中心柱,其特征在于,所述的液冷板位于铜背板与固定板之间,液冷板为轴对称的结构,液冷板在对称轴的两侧各设有一个向上的第一凸起,第一凸起的上表面与铜背板相接触,第一凸起与中心柱之间设有压条,第一凸起与固定板之间设有垫条,液冷板在第一凸起的外侧各设有一个向下的第二凸起,第二凸起的下表面与压紧螺柱相接触,液冷板在第二凸起的外侧设有向上的第三凸起,第三凸起的上表面与铜背板相接触,第三凸起与固定板之间设有垫条,第三凸起的外侧设有压条。2.根据权利要求1所述的一种用于不锈钢液冷...
【专利技术属性】
技术研发人员:匡国庆,
申请(专利权)人:镇江市德利克真空设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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