气体传感器设备及制造该气体传感器设备的方法技术

一种气体传感器设备，该气体传感器设备被配置成测量预定的感兴趣的气体并且包括外壳，该外壳包括半导体基板并限定第一腔、透光的第二闭合腔和第三腔。第二腔介于第一腔和第三腔之间。第一腔包括用于接收被测气体的入口端口、用于排出被测气体的出口端口。第一腔还包括光源和测量传感器。第二腔被配置成作为包括密封地设置在第二腔中的一定体积的感兴趣的气体的气体滤光器，并且第三腔包括设置在其中的参考测量传感器。的参考测量传感器。的参考测量传感器。

【技术实现步骤摘要】
气体传感器设备及制造该气体传感器设备的方法


[0001]本专利技术涉及气体传感器设备，该气体传感器设备是例如包括光源、测量传感器和参考传感器、被配置成测量由被测气体对由光源发射的电磁辐射的吸收的类型。本专利技术还涉及制造气体传感器设备的方法，该方法是例如以允许测量由被测气体对由光源发射的电磁辐射的吸收的方式提供光源、测量传感器和参考传感器的类型。

技术介绍

[0002]在气体传感器领域，特别是所谓的非分光红外(nondispersive infrared，NDIR)气体传感器领域，已知提供包括用于接收要分析的目标气体的入口和用于排出要分析的气体的出口的腔室，该腔室用作要由目标气体吸收的光的光路。在腔室的一端处提供光源，并在腔室的相对端处提供一对电磁辐射检测器，由此提供信号“臂(arm)”和参考臂。关于二氧化碳，例如，由腔室中的气体吸收的红外电磁辐射量与气体的浓度成比例。因此，随着浓度增加，由信号臂的检测器输出的信号减小。参考臂用于补偿光源随时间和/或温度的漂移，并且在使用时应该提供在腔室中的气体浓度发生改变时不发生改变的输出。这可以通过在参考检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种被配置成测量预定的感兴趣的气体的气体传感器设备，所述设备包括：外壳，所述外壳包括半导体基板并限定第一腔、透光的第二闭合腔和第三腔，所述第二腔介于所述第一腔和所述第三腔之间；其中所述第一腔包括用于接收被测气体的入口端口、用于排出所述被测气体的出口端口、光源和测量传感器；所述第二腔被配置成作为包括密封地设置在所述第二腔中的一定体积的所述感兴趣的气体的气体滤光器；并且所述第三腔包括设置在其中的参考测量传感器。2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第二腔包括界定所述第一腔和所述第三腔的透光孔。3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一腔是基本上圆柱形的。4.如权利要求1或权利要求2或权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第二腔被设置成与所述第一腔相邻。5.如权利要求1或权利要求2或权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第三腔被设置成与所述第二腔相邻并且在所述第一腔外部。6.如权利要求1或权利要求2所述的设备，其特征在于，所述外壳进一步包括盖，所述盖被配置成与所述基板协作以限定所述第一腔、所述第二腔和所述第三腔。7.如权利要求6所述的设备，进一步包括：远离所述盖延伸的壁；其中所述壁与所述基板协作以限定所述第一腔、所述第二腔和所述第三腔。8.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述壁与所述盖一体形成。9.如权利要求6所述的设备，进一步包括：远离所述基板延伸的壁；其中所述壁与所述盖协作以限定所述第一腔、所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：W，
申请(专利权)人：迈来芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：