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一种气体传感器设备，该气体传感器设备被配置成测量预定的感兴趣的气体并且包括外壳，该外壳包括半导体基板并限定第一腔、透光的第二闭合腔和第三腔。第二腔介于第一腔和第三腔之间。第一腔包括用于接收被测气体的入口端口、用于排出被测气体的出口端口。第一...
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