【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】低温泵及低温泵的监视方法
本专利技术涉及一种低温泵及低温泵的监视方法。
技术介绍
低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的洁净的真空环境。低温泵为所谓的气体捕集式真空泵，因此，需要定期进行向外部排出已捕捉到的气体的再生。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-1186号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题在低温泵通常设置有温度互不相同的两种低温板。低温的低温板例如被冷却至约20K以下的冷却温度以使例如氩气或氮气等蒸气压比较高的气体冷凝在其表面，高温的低温板被冷却至例如约80K以上的冷却温度以免上述气体冷凝。随着低温泵的使用，气体的冷凝层在低温低温板上成长，最终会与高温低温板接触。如此一来，气体在高温低温板与冷凝层接触的部位再次气化而释放到周围。之后，低温泵无法充分发挥原有的作用。因此，高温低温板与冷凝层接触时存在于低温低温板上的冷凝层提供低温泵所能捕集到的气体的最大量(还称...
【技术保护点】
1.一种低温泵，其具有气体的冷凝层的容纳空间，所述低温泵的特征在于，具备：/n第1级低温板，被冷却至比所述气体的冷凝温度更高的温度，且其具有以包围所述容纳空间的方式配置的第1级低温板内表面；/n第2级低温板，被冷却至所述气体的冷凝温度以下的温度，并且所述气体的冷凝层堆积在其上，所述第2级低温板配置成其与所述容纳空间一起被所述第1级低温板内表面包围；/n低温泵进气口，容许从所述低温泵的外部入射于所述第1级低温板内表面的第1级热负荷通过及从所述低温泵的外部进入所述容纳空间的所述气体通过；及/n第2级低温板监视部，基于所述第1级热负荷的变化来监视所述容纳空间内的冷凝气体量。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180903 JP 2018-1644051.一种低温泵，其具有气体的冷凝层的容纳空间，所述低温泵的特征在于，具备：
第1级低温板，被冷却至比所述气体的冷凝温度更高的温度，且其具有以包围所述容纳空间的方式配置的第1级低温板内表面；
第2级低温板，被冷却至所述气体的冷凝温度以下的温度，并且所述气体的冷凝层堆积在其上，所述第2级低温板配置成其与所述容纳空间一起被所述第1级低温板内表面包围；
低温泵进气口，容许从所述低温泵的外部入射于所述第1级低温板内表面的第1级热负荷通过及从所述低温泵的外部进入所述容纳空间的所述气体通过；及
第2级低温板监视部，基于所述第1级热负荷的变化来监视所述容纳空间内的冷凝气体量。
2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
所述第2级低温板监视部在所述第1级热负荷减少时判定为所述冷凝气体量增加。
3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，还具备：
制冷机，具有与所述第1级低温板热连接的第1冷却台及与所述第2级低温板热连接的第2冷却台；及
第1级温度控制部，控制所述制冷机的运行频率以使所述第1级低温板冷却至第1级目标温度，
所述第2级低温板监视部将所述制冷机的运行频率与阈值进行比较，并在所述制冷机的运行频率低于所述阈值时判定为所述冷凝气体量超过了基准值。
4.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，
所述第2级低温板监视部在从所述低温泵的外部入射于所述低温泵进气口的辐射热成为了规定值的时刻获取所述制冷机的运行频率，并将所获取的所述制冷机的运行频率与所述阈值进行比较。
5.根据权利要求4所述的低温泵，其特征在于，
还设置有关闭所述低温泵进气口的闸阀，
所述时刻设定在所述闸阀关闭的期间。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的低温泵，其特征在于，还具备：
冷凝气体量表，将所述冷凝气体量的多个值分别与所述制冷机的运行频率的值建立对应关联，
所述第2级低温板监视部基于所述制冷机的运行频率和所述冷凝气体量表计算出所述冷凝气体量的估计值。
7.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，还具备：
制冷机，具备与所述第1级低温板热连接的第1冷却台、对所述第1冷却台进行加热的加热器及与所述第2级低温...
【专利技术属性】
技术研发人员：谷津贵裕，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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