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低温泵及低温泵的监视方法技术
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文档序号:28048092
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低温泵(10)具有气体的冷凝层的容纳空间(65),并且具备:第1级低温板(18),具有以包围容纳空间(65)的方式配置的第1级低温板内表面;及第2级低温板(20),其配置成与容纳空间(65)一起被第1级低温板内表面包围。第1级热负荷从低温泵...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。
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