【技术实现步骤摘要】
一种同轴式双线圈射频驱动气体放电装置
本专利技术涉及一种同轴式双线圈射频驱动气体放电装置，用于产生低温低压气体等离子体放电，通过电子碰撞激发产生亚稳态原子束流，可用于精密光谱测量、原子光刻、原子频标等研究和应用领域。
技术介绍
高强度、高准直度的亚稳态原子束流在原子光刻、原子光学、原子碰撞、原子频标、精密光谱测量、痕量分析、玻色-爱因斯坦凝聚等诸多领域有重要用途。许多物理过程和应用只能通过高强度的原子束流实现。因此如何产生高强度的亚稳态原子束流就成为一个非常重要的技术问题。通常可采用直流或射频气体放电的方式激发产生亚稳态原子束流。相比于直流放电方式，射频放电方式没有电极暴露在气体中，对工作环境没有污染，因而成为一种应用更广泛的激发方式。螺旋射频共振腔可以在相对较小的空间内产生品质因数比较高的射频共振系统，并且在低气压条件下也可以产生自持的低温等离子体放电，适合真空环境下气体放电应用。该共振腔采用螺线圈和屏蔽层组成，螺线圈由铜导线绕制，屏蔽层采用导电性能良好的导体材料制成，屏蔽层套装在螺线圈外面，射频信号通过线圈第一匝...
【技术保护点】
1.一种同轴式双线圈射频驱动气体放电装置，包括超高真空双面密封法兰(1)和安装在超高真空双面密封法兰(1)上的气体导管(5)，以及屏蔽层定位盖环(9)、屏蔽层(10)，气体导管(5)、屏蔽层(10)与超高真空双面密封法兰(1)三者的轴线重合，并与超高真空双面密封法兰(1)平面垂直；其特征在于：/n在所述的气体导管(5)外部由内向外以同轴方式依次设置有内螺旋线圈(6)、绝缘定位管(7)和外螺旋线圈(8)；在内螺旋线圈(6)的一端设置有内螺旋线圈接地端(12)，在其紧邻该内螺旋线圈接地端(12)的第一匝上设置有内螺旋线圈射频接入端(11)，在外螺旋线圈(8)的一端设置有外螺旋线...
【技术特征摘要】
1.一种同轴式双线圈射频驱动气体放电装置，包括超高真空双面密封法兰(1)和安装在超高真空双面密封法兰(1)上的气体导管(5)，以及屏蔽层定位盖环(9)、屏蔽层(10)，气体导管(5)、屏蔽层(10)与超高真空双面密封法兰(1)三者的轴线重合，并与超高真空双面密封法兰(1)平面垂直；其特征在于：
在所述的气体导管(5)外部由内向外以同轴方式依次设置有内螺旋线圈(6)、绝缘定位管(7)和外螺旋线圈(8)；在内螺旋线圈(6)的一端设置有内螺旋线圈接地端(12)，在其紧邻该内螺旋线圈接地端(12)的第一匝上设置有内螺旋线圈射频接入端(11)，在外螺旋线圈(8)的一端设置有外螺旋线圈接地端(3)，在其紧邻该外螺旋线圈接地端(3)的第一匝上设置有外螺旋线圈射频接入端(4)；所述内螺旋线圈接地端(12)、外螺旋线圈接地端(3)均与屏蔽层(10)采用焊接方式连接并接地；内螺旋线圈射频接入端(11)和外螺旋线圈射频接入端(4)均穿过屏蔽层(10)，并分别与设置在超高真...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯高平，洪延姬，韩建慧，宋俊玲，于嘉琪，饶伟，朱潇潇，
申请(专利权)人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学，
类型：发明
国别省市：北京;11
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