一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器，所述发生器包括壳体，所述壳体上设置观火窗，所述观火器设置在壳体的外部，所述观火器包括水冷机构、图像采集装置，所述图像采集装置的图像采集端正对观火窗，所述水冷机构对图像采集装置进行水冷降温；本实用新型专利技术所述的一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器，一方面实现了对射频等离子体发生器中放电情况进行观察、监控，另一方面避免了高温、高辐射环境对人体或设备带来的损伤，有利于确保生产过程的安全性，同时也有利于提高对放电情况进行监控时的工作效率以及监测准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器
本技术涉及一种射频等离子体发生器的观火器及射频等离子体发生器。
技术介绍
等离子体是电子被掠夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子构成的离子化气体状物质，也称为物质的第四相态。等离子体的温度高，能提供高焓值的工作介质，生产常规方法不能得到的材料，加之有气氛可控、设备相对简单、能显著缩短工艺流程等优点，所以等离子体技术、等离子体发生装置在现代工业中得到了较大的发展和应用。其中，射频等离子体发生器作为目前等离子体发生装置的代表设备之一，又称高频等离子体炬，或称射频等离子体炬。它利用无电极的感应耦合，把高频电源的能量输入到连续的气流中进行高频放电，其功率输出范围为0.5～1兆瓦，效率为50％～75％，放电室中心温度一般约高达7000～12000K。射频等离子体发生器在工业中已有多方面的应用，特别是在等离子体化工、冶金和光学材料提纯等方面。它可以制备超导材料，如用氢高频等离子体还原钒－硅(或钒－锗)，铌－铝(或铌－锗)的氯化物蒸气以制备超导材料。中国冶金、采矿企业中需处理的钛矿石、含钒矿渣、磷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频等离子体发生器的观火器，所述发生器(1)包括壳体(11)，所述壳体(11)上设置观火窗(14)，其特征在于，所述观火器(2)设置在壳体(11)的外部，所述观火器(2)包括水冷机构、图像采集装置(23)，所述图像采集装置(23)的图像采集端正对观火窗(14)，所述水冷机构对图像采集装置(23)进行水冷降温。/n

【技术特征摘要】
1.一种射频等离子体发生器的观火器，所述发生器(1)包括壳体(11)，所述壳体(11)上设置观火窗(14)，其特征在于，所述观火器(2)设置在壳体(11)的外部，所述观火器(2)包括水冷机构、图像采集装置(23)，所述图像采集装置(23)的图像采集端正对观火窗(14)，所述水冷机构对图像采集装置(23)进行水冷降温。


2.根据权利要求1所述的一种射频等离子体发生器的观火器，其特征在于，所述水冷机构至少包括观火壳夹层(21)，所述观火壳夹层(21)包括外壳壁(215)、内壳壁(216)，所述外壳壁(215)、内壳壁(216)之间形成第二水冷腔(217)。


3.根据权利要求2所述的一种射频等离子体发生器的观火器，其特征在于，观火壳夹层(21)的观火端(212)设置滤光玻璃层(22)。


4.根据权利要求3所述的一种射频等离子体发生器的观火器，其特征在于，所述滤光玻璃层(22)包括第一滤光玻璃(221)、第二滤光玻璃(222)，所述第一滤光玻璃(221)、第二滤光玻璃(222)均与内壳壁(216)密封连接，所述第一滤光玻璃(221)、第二滤光玻璃(222)、内壳壁(216)之间形成第三水冷腔(223)。


5.根据权利要求4所述的一种射频等离子体发生器的观火器，其特征在于，所述内壳壁(216)开设至少一个开口，所述第二水冷腔(217)与第三水冷腔(223)通过开口连通。


6.根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟民，王庆文，刘冬，樊荣，李家鑫，李鹏博，
申请(专利权)人：河南能微新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41