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本发明采用同轴式双线圈射频驱动气体放电方式，提供一种用于产生低温低压等离子体放电装置。本发明采用两个螺旋线圈与屏蔽层构成双线圈射频共振腔，激发气体导管中的气体产生等离子体放电。本发明内外两个螺线圈的参数不同，可以采用不同频率射频信号同时驱动...
该专利属于中国人民解放军战略支援部队航天工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军战略支援部队航天工程大学授权不得商用。

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