滤波器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种滤波器。该滤波器包括晶圆和嵌入式电感；晶圆上设置有电容，电容和嵌入式电感通过连接部连接。通过在晶圆上设置电容，不仅可以保证电容具有高品质因数，同时可以以比较小的占用空间产生电容值比较大的电容，减小电容的占用空间。并且在基板内形成嵌入式电感，可以保证电感的高品质因数。当晶圆上的电容通过倒装方法与嵌入式电感连接时，可以使高品质因数的电容和电感形成性能良好的滤波器，满足不同应用场合对滤波器的性能要求，提高了滤波器的适用性。而且，电容元件和电感元件单独形成，可以更好的控制每个元件的良品率，从而提高电容元件和电感元件连接后形成的滤波器的良品率，从而有利于降低滤波器的成本。

【技术实现步骤摘要】
滤波器
本技术实施例涉及滤波
，尤其涉及一种滤波器。
技术介绍
射频滤波器是现代无线通信前端的重要组成部分。射频滤波器可以选择给定通信标准的频段，并抑制环境中的干扰和噪声。性能较好的射频滤波器有助于提高收发器的信噪比，减小其对周边环境非预期的电磁辐射。射频滤波器可以包括声学器件，也可以包括电容元件和电感元件。基于电容元件和电感元件的滤波器(LC滤波器)可以提供充分优良的宽带性能。通常，LC滤波器可以采用低温共烧陶瓷(Low-temperaturecofiredceramics，LTCC)工艺或与厚金属工艺相兼容的半导体晶圆级工艺在同一基板上形成高品质因数的电容元件和电感元件。LTCC工艺可以将多层金属层与多层低损耗陶瓷进行集成，可以形成高品质因数的多线圈电感。然而，LTCC工艺难以形成集成高介电薄膜，因此在LTCC工艺中难以形成电容值比较大的电容元件。而半导体晶圆级工艺可以实现高品质因数的紧凑型电容元件，但缺乏足够厚的金属以实现高品质因数的电感元件。
技术实现思路
本技术提供一种滤波器，以提高滤波器的性能。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤波器，其特征在于，包括晶圆和嵌入式电感；所述晶圆上设置有电容，所述电容和所述嵌入式电感通过连接部连接；/n所述嵌入式电感包括基板和至少一层金属层，至少一层所述金属层设置于所述基板上。/n

【技术特征摘要】
1.一种滤波器，其特征在于，包括晶圆和嵌入式电感；所述晶圆上设置有电容，所述电容和所述嵌入式电感通过连接部连接；
所述嵌入式电感包括基板和至少一层金属层，至少一层所述金属层设置于所述基板上。


2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述晶圆上设置有多个电容；所述连接部为多个；每一所述电容的两个极板分别通过一所述连接部与所述嵌入式电感连接。


3.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述晶圆上还设置有钝化层，所述钝化层覆盖所述电容，并暴露所述连接部与所述晶圆连接的区域。


4.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述嵌入式电感包括多层金属层；多层所述金属层形成至少一个电感；所述电感的第一端通过所连接部与所述电容的一端连接，所述电感的第二端通过所述连接部与所述电容的另一端或者与地端连接。


5.根据权利要求4所述的滤波器，其特征在于，每一所述电感...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚颂斌，杨岩松，吕若辰，
申请(专利权)人：偲百创深圳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44