一种PERC电池制备方法技术

本发明专利技术属于光伏技术领域，具体为一种PERC电池制备方法，主要用于提高PERC电池的效率。本发明专利技术包括：先后进行的扩散步骤、刻蚀步骤、背膜步骤，刻蚀步骤中采用刻蚀溶液，刻蚀溶液的化学成分包括HNO

【技术实现步骤摘要】
一种PERC电池制备方法
本专利技术属于光伏
，具体为一种PERC电池制备方法，主要用于提高PERC电池的效率。
技术介绍
随着科技的进步以及环保意识的增强，PERC电池迎合了环保节能的需求，成为新能源研发中重要的一部分。申请号为202010213511.7的一种高效单晶硅PERC太阳能电池的制备方法，包括制绒——扩散——刻蚀——退火——正面印刷掩膜材料并固化——正面沉积SINx减反膜——去除掩膜材料——背面沉积SiNx/AlOx钝化膜——背面激光——印刷背电极和背电场——TCO沉积——印刷正电极并低温固化。使用HF/HNO3溶液对扩散后的硅片进行背面抛光和去PSG，刻蚀减重控制在0.2g-0.35g，反射率控制在20%-30%；制备Al2O3/SiNx钝化膜时，钝化膜的厚度控制在80-150nm，在刻蚀与沉积钝化膜后，钝化膜的钝化效率不是很好，导致PERC电池的效率不高，因此，本申请针对上述在刻蚀与沉积钝化膜的过程导致PERC电池效率较低的问题进行研究。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种PERC电池制备方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PERC电池制备方法，包括先后进行的扩散步骤、刻蚀步骤、背膜步骤，其特征在于：/n所述刻蚀步骤中采用刻蚀溶液，所述刻蚀溶液的化学成分包括HNO

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池制备方法，包括先后进行的扩散步骤、刻蚀步骤、背膜步骤，其特征在于：
所述刻蚀步骤中采用刻蚀溶液，所述刻蚀溶液的化学成分包括HNO3、HF、H2SO4、H2O；
所述背膜步骤中采用SiH4和NH3对硅片背面进行镀膜沉积，所述镀膜沉积次数为两次。


2.根据权利要求书1所述的一种PERC电池制备方法，其特征在于：
所述HNO3、HF、H2SO4、H2O的浓度分别为28-30%、6-8%、6-9%、53-55%。


3.根据权利要求书1所述的一种PERC电池制备方法，其特征在于：
所述第一次镀膜沉积时NH3和SiH4的气体流量比为6:1；
所述第二次镀膜沉积时NH3和SiH4的气体流量比为10:1。


4.根据权利要求书3所述的一种PERC电池制备方法，其特征在于：
所述第一次镀膜沉积的时间为180s；
所述第二次镀膜沉积的时间为790s。


5.根据权利要求书1所述的一种PERC电池制备方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：何一峰，吕文辉，邱小永，严文生，谭新玉，赵庆国，时利，
申请(专利权)人：浙江贝盛光伏股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33