一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极及其制备方法，包括超薄不锈钢柔性衬底，其特征在于，超薄不锈钢柔性衬底的正面上设有阻隔层，阻隔层上设有正面Mo薄膜，超薄不锈钢柔性衬底的底面上设有背面Mo薄膜。本发明专利技术能够显著减少膜层与衬底之间的应力，增强衬底与膜层之间的结合力，有效抑制衬底卷曲以及背电极膜层的开裂、脱落。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极及其制备方法
本专利技术涉及柔性太阳能电池生产
，特别涉及一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极及其制备方法。
技术介绍
铜铟镓硒(Cu(In,Ga)Se2，CIGS)薄膜太阳能电池具有吸收率高、光学带隙可调、抗辐射能力强、弱光特性好、性能稳定、光电转换率高以及制造成本低等优点，是一种具有广阔发展前景的光伏材料。当前，在其优良性能和巨大市场需求背景下，已成为光伏电池的主流产品之一。CIGS薄膜太阳能电池的典型结构主要包括衬底、背电极、吸收层、缓冲层、窗口层、栅电极和减反射层。其中，背电极薄膜的质量直接影响后续CIGS吸收层薄膜的生长及表面形貌，进而对电池器件的光学性能产生决定性的影响。背电极的作用主要包括以下四点：(1)与吸收层之间形成良好的欧姆接触；(2)传导电流；(3)连接衬底和吸收层；(4)阻止衬底元素杂质扩散进入吸收层。因此，高质量的背电极薄膜应该具备低电阻率、高附着力和良好阻隔特性。相比于Pt、Au、Ag、Al、Cu等材料，Mo和Ni能与CIGS吸收层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极，包括超薄不锈钢柔性衬底，其特征在于，超薄不锈钢柔性衬底的正面上设有阻隔层，阻隔层上设有正面Mo薄膜，超薄不锈钢柔性衬底的底面上设有背面Mo薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极，包括超薄不锈钢柔性衬底，其特征在于，超薄不锈钢柔性衬底的正面上设有阻隔层，阻隔层上设有正面Mo薄膜，超薄不锈钢柔性衬底的底面上设有背面Mo薄膜。


2.根据权利要求1所述的一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极，其特征在于，所述超薄不锈钢柔性衬底的厚度小于50μm。


3.根据权利要求1所述的一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极，其特征在于，所述正面Mo薄膜由内至外由低压Mo层、中压Mo层和高压Mo层组成，正面Mo薄膜的总厚度为400-600nm。


4.根据权利要求1所述的一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极，其特征在于，所述阻隔层的厚度为50-200nm；所述阻隔层材料为Cr、TiO2、Al2O3、ZrO、TiN中的一种或几种。


5.根据权利要求1所述的一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极，其特征在于，所述背面Mo薄膜的厚度为100-400nm。


6.如权利要求1所述的一种超薄不锈钢柔性衬底铜铟镓硒太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)制备背面Mo薄膜：将超薄不锈钢柔性衬底放入磁控溅射腔中，腔内真空度小于5×10-6Torr；将超薄不锈钢柔性衬底加热至200±10℃，开始在衬底背面溅射Mo薄膜，溅射功率为7.5±0.5kW，溅射气压为5-20mTorr，气体为纯氩气，超薄不锈钢柔性衬底走速为0...

【专利技术属性】
技术研发人员：王吉应，刘宽菲，马林，任宇航，
申请(专利权)人：尚越光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33