自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法技术方案

本发明专利技术公开了一种自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法，系统包括箱体和罩盖，罩盖底部设置有可上下移动的压板，罩盖顶部固定安装有密封环，罩盖上设有避让孔，该避让孔内设有柔性变形部件，柔性变形部件下端连接在压板上，上端与密封环连接。方法包括步骤一：将待检模块装至箱体的敞口处；步骤二：盖上罩盖，使压板周向边缘与待检模块接触；步骤三：利用真空泵对箱体和罩盖抽真空，在压差的作用下柔性变形部件伸长并带动压板向下挤压待检模块，使待模块与箱体之间密封；步骤四：向罩盖内充入氦气至预设值；步骤五：利用检漏仪测量是否有氦气渗透至箱体内。有益效果是：待检模块能够在真空密封腔内快速自动密封，并完成密封性能检测。

【技术实现步骤摘要】
自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法
本专利技术属于真空密封部件密封性能检测
，具体涉及一种自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法。
技术介绍
在光学领域中，很多物理装置会在真空环境中使用，在真空环境中安装这些物理装置，往往需要对一些部件进行密封装配。对于这些部件的密封安装，传统的技术手段需要人工干预，即采用螺钉连接的方式对需密封的部件施加预紧力，此种方式具有效率低、易产尘、操作空间受限的缺点，同时还存在螺钉预紧力不均而导致部件崩裂的风险。比如：激光装置中的光机模块，光机模块在线安装前，需要将其与离线真空检漏平台连接密封，然后进行真空密封性能检测，由于光机模块中的光学元件较薄，易碎，表面洁净度要求高，其与真空检漏平台连接密封效率和成功率要求高，所以再利用传统的螺钉连接方式进行密封则不能满足使用要求，为此，急需寻求一种方便快捷的密封方式。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种自密封式真空检测系统，待检测的模块能够在真空密封腔内快速自动密封。为实现上述目的，本专利技术技术方案如下：一种自密封式真空检测系本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自密封式真空检测系统，其特征在于：包括上端敞口的箱体(1)，所述箱体(1)的敞口端以可拆卸地方式安装有罩盖(2)，所述罩盖(2)底部设置有可上下移动的压板(3)，罩盖(2)顶部固定安装有密封环(4)，所述罩盖(2)上设有避让孔(2a)，该避让孔(2a)内设有柔性变形部件(5)，柔性变形部件(5)下端连接在压板(3)上，上端与密封环(4)连接；/n所述罩盖(2)扣合在箱体(1)上后，能够通过改变罩盖(2)内部与外部之间的压差使柔性变形部件(5)变形，以控制压板(3)向上或者向下移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种自密封式真空检测系统，其特征在于：包括上端敞口的箱体(1)，所述箱体(1)的敞口端以可拆卸地方式安装有罩盖(2)，所述罩盖(2)底部设置有可上下移动的压板(3)，罩盖(2)顶部固定安装有密封环(4)，所述罩盖(2)上设有避让孔(2a)，该避让孔(2a)内设有柔性变形部件(5)，柔性变形部件(5)下端连接在压板(3)上，上端与密封环(4)连接；
所述罩盖(2)扣合在箱体(1)上后，能够通过改变罩盖(2)内部与外部之间的压差使柔性变形部件(5)变形，以控制压板(3)向上或者向下移动。


2.根据权利要求1所述的自密封式真空检测系统，其特征在于：所述柔性变形部件(5)为波纹管。


3.根据权利要求1所述的自密封式真空检测系统，其特征在于：所述罩盖(2)的内侧分布有向下延伸的导向销(2b)，所述压板(3)滑动连接在导向销(2b)上。


4.根据权利要求1所述的自密封式真空检测系统，其特征在于：所述罩盖(2)的周向边缘具有向下延伸的侧挡板(2c)，所述箱体(1)对应侧挡板(2c)下端的位置设有密封圈(6)。


5.根据权利要求1所述的自密封式真空检测系统，其特征在于：所述压板(3)的周向边缘分...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶朗，徐旭，裴国庆，独伟锋，张亮，全旭松，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川;51