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本发明公开了一种自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法,系统包括箱体和罩盖,罩盖底部设置有可上下移动的压板,罩盖顶部固定安装有密封环,罩盖上设有避让孔,该避让孔内设有柔性变形部件,柔性变形部件下端连接在压板上,上端与密封环连接。方法包括步骤一...该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。
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本发明公开了一种自密封式真空检测系统及抽真空检漏方法,系统包括箱体和罩盖,罩盖底部设置有可上下移动的压板,罩盖顶部固定安装有密封环,罩盖上设有避让孔,该避让孔内设有柔性变形部件,柔性变形部件下端连接在压板上,上端与密封环连接。方法包括步骤一...