【技术实现步骤摘要】
用于半导体测试的定位清洁装置
本技术涉及一种半导体测试设备的零部件,尤其涉及一种用于半导体测试的定位清洁装置。
技术介绍
在DFN2510系列产品等半导体器件的电性能测试中,由于产品引脚较多,采取平面设计方式,产品下压时引脚和测试探针存在误差,容易导致引脚与测试探针接触不良。同时,测试探针采用刀片式接触产品引脚的方式,产品引脚直接触测试探针的前端部分;前端部分与产品引脚频繁接触,导致引脚的脏污易粘连并堆积在前端部分测试针尖端处,脏污长期堆积导致产品引脚不能良好的与测试探针尖端接触,最终导致测试产品失效,需要把测试探针取下清洗,造成设备维修频繁,非生产时间增加,导致生产效率降低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于半导体测试的定位清洁装置,能对产品进行定位,确保产品引脚与测试探针的接触可靠性和精确性,同时能在产品测试间隙对测试探针上的脏污进行吹扫清洁,确保连续、有效生产。本技术是这样实现的:一种用于半导体测试的定位清洁装置,包括中空结构的定位块,定位块的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽,定位块安装在测试座上,使定位槽位于测试探针的上方;定位块的侧部形成有进气孔并外接供气设备,定位块的另一个面上形成有面向测试探针的吹气孔,进气孔、定位块的中空腔体和吹气孔形成吹气通道。所述的定位槽和吹气孔的尺寸均不小于测试探针,且测试探针位于定位槽和吹气孔在测试座上的投影范围内。所述的定位块上形成有定位槽的一面贴合在测试座上。本技术能通过定位槽对产品进行定位,确保产 ...
【技术保护点】
1.一种用于半导体测试的定位清洁装置,其特征是:包括中空结构的定位块(1),定位块(1)的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽(11),定位块(1)安装在测试座(2)上,使定位槽(11)位于测试探针(21)的上方;定位块(1)的侧部形成有进气孔(12)并外接供气设备,定位块(1)的另一个面上形成有面向测试探针(21)的吹气孔(13),进气孔(12)、定位块(1)的中空腔体和吹气孔(13)形成吹气通道。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体测试的定位清洁装置,其特征是:包括中空结构的定位块(1),定位块(1)的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽(11),定位块(1)安装在测试座(2)上,使定位槽(11)位于测试探针(21)的上方;定位块(1)的侧部形成有进气孔(12)并外接供气设备,定位块(1)的另一个面上形成有面向测试探针(21)的吹气孔(13),进气孔(12)、定位块(1)的中空腔体和吹气孔(13)形成吹气...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢红平,赵云峻,张鸿,卢发生,
申请(专利权)人:上海泰睿思微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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