一种用于晶圆加工设备的升降机及晶圆加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了提供一种用于晶圆加工设备的升降机，包含：载物台；滑杆，载物台设置于滑杆的顶部；丝杆，丝杆设置有外螺纹并与滑杆平行；驱动马达，驱动马达设置于丝杆顶部并驱动丝杆沿轴线旋转；连接块，连接块的第一部分固定连接至滑杆的底部，连接块的第二部分包含内螺纹，并与丝杆的外螺纹构成螺纹副；制动系统，制动系统设置于丝杆的底部并响应于驱动马达失效的信号而锁定丝杆。该升降机能够有效降低破片率、成本低廉并且安全性高。本实用新型专利技术同时提供一种包含上述升降机的晶圆加工设备。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工设备的升降机及晶圆加工设备
本技术涉及半导体
，特别涉及一种用于晶圆加工设备的升降机及包含该升降机的晶圆加工设备。
技术介绍
现有E500型晶圆加工设备的升降机包含平行布置的滑杆和丝杆，设置于丝杆顶部的驱动马达驱动丝杆沿其轴线旋转以带动丝杆上升。然而。该晶圆加工设备并未针对升降机设置制动功能，当升降机驱动马达因失电等原因失效时，晶圆盒内的晶圆会随载物台的下降而急速下降，若操作者此时正在执行取片等动作，则会与晶圆发生碰撞，导致破片和/或人员受伤。新式晶圆加工设备在丝杆顶部设置有制动装置，可响应于驱动马达异常失电而停止升降机的升降动作。一方面，机台整体换新成本较高；另一方面，现有E500型晶圆加工设备受内部结构及空间的限制不允许在丝杆顶部加装制动装置。因此，如何对现有E500型晶圆加工设备进行改造，以低成本使升降机具有制动功能成为晶圆加工领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
为了解决现有的技术问题，本技术提出了一种能够有效降低破片率、安全性高并且成本低廉的升降机。本技术同时提供一种包含该升降机的晶圆加工设备。根据本技术，提供一种用于晶圆加工设备的升降机，包含：载物台；滑杆，载物台设置于滑杆的顶部；丝杆，丝杆设置有外螺纹并与滑杆平行；驱动马达，驱动马达设置于丝杆顶部并驱动丝杆沿轴线旋转；连接块，连接块的第一部分固定连接至滑杆的底部，连接块的第二部分包含内螺纹，并与丝杆的外螺纹构成螺纹副；制动系统，制动系统设置于丝杆的底部并响应于驱动马达失效的信号而锁定丝杆。根据本技术的一个实施例，制动系统包含：电源模块；信号接收模块，信号接收模块与电源模块电连接；信号运算模块，信号运算模块与电源模块电连接，并与信号接收模块通信连接；制动驱动模块，制动驱动模块与电源模块电连接并与信号运算模块通信连接；以及抱刹装置，抱刹装置与制动驱动模块连接；其中，信号接收模块接收与驱动马达相关的信号，信号运算模块对驱动马达相关的信号进行判断并发送驱动马达失效的信号，制动驱动模块在接收到驱动马达失效的信号后驱动抱刹装置锁定丝杆。根据本技术的一个实施例，信号接收模块与升降机的电源通信连接，与驱动马达相关的信号包含来自电源的电压信号。根据本技术的一个实施例，信号接收模块与升降机的控制电路通信连接，与驱动马达相关的信号包含来自控制电路的光纤信号。根据本技术的一个实施例，信号接收模块与驱动马达通信连接，与驱动马达相关的信号包含来自驱动马达的马达信号。根据本技术的一个实施例，抱刹装置包含电磁线圈和闸片，其中，当电磁线圈通电时，闸片彼此分离以允许丝杆旋转；当电磁线圈断电时，闸片彼此聚合以锁定丝杆。根据本技术的一个实施例，升降机包含警报装置，警报装置配置成响应于制动系统失效而报警。根据本技术，提供一种晶圆加工设备，包含如上所述的升降机。根据本技术的一个实施例，包含用于容纳并定位升降机的壳体。根据本技术的一个实施例，壳体由隔板分为操作室和控制室，其中，丝杆、驱动马达、连接块和制动系统设置于控制室内，载物台设置于操作室内，滑杆穿过隔板上的通孔连接载物台和连接块。由于采用以上技术方案，本技术与现有技术相比具有如下优点：1.本技术的升降机在丝杆底部设置制动系统，适用于对现有E500型晶圆加工设备进行改造，在无需更换新机的情况下使破片率明显降低，并且改造成本远远低于换新成本。2.本技术的制动系统响应于电压信号、光纤信号和马达信号来控制升降机的制动操作，进一步提高了升降机的安全性。3.本技术的制动系统采用被动式抱刹，不仅制动反应迅速，还避免因制动系统本身异常失电而引起的制动失效现象。4.本技术的制动系统包含报警装置，利于制动系统及时检修。附图说明图1示出了依据本技术的用于晶圆加工设备的升降机的一个实施例的示意图；图2示出了依据本技术的制动系统的一个实施例的框图。图中，1载物台，2滑杆，3丝杆，4驱动马达，5连接块，6制动系统。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。图1示出了依据本技术的用于晶圆加工设备的升降机的一个实施例。如图所示，升降机总体包含载物台1、滑杆2、丝杆3、驱动马达4、用于连接滑杆2和丝杆3的连接块5、以及制动系统6。具体地，载物台1设置于滑杆2的顶部，设置有外螺纹的丝杆3与滑杆2平行布置，驱动马达4设置于丝杆3的顶部。连接块5可分为两部分，第一部分固定连接至滑杆2的底部，第二部分则包含内螺纹，该内螺纹可与丝杆3的外螺纹构成螺纹副，以便与丝杆3移动地连接。基于上述结构，驱动马达可以驱动该丝杆3沿其轴线旋转，连接块5借助于螺纹副随丝杆3的旋转而带动滑杆2上下移动，以实现载物台1的升降。制动系统6可设置于丝杆3的底部并响应于驱动马达4失效的信号而将丝杆3锁定以使其立刻停止旋转。进一步地，包含上述升降机的晶圆加工设备可包含用于容纳并定位升降机的壳体。该壳体可由隔板分为位于上部的操作室和位于下部的控制室。其中，丝杆3、驱动马达4、连接块5和制动系统6设置于控制室内，载物台1设置于操作室内。隔板设有通孔，以便滑杆2穿过该通孔与位于操作室内的载物台1和位于控制室内的连接块5相连。图2示出了依据本技术的制动系统的一个实施例的框图。如图所示，制动系统6可以包含电源模块、信号接收模块、信号运算模块、制动驱动模块以及抱刹装置。具体地，电源模块分别连接至信号接收模块、信号运算模块和制动驱动模块以为其供电。信号接收模块用于接收与驱动马达相关的信号，并将信号发送至与其通信连接的信号运算模块。随后，信号运算模块对该信号进行判断，并在获得马达失效的判定后向与之通信连接的制动驱动模块发送驱动马达失效的信号。制动驱动模块在接收到驱动马达失效的信号后驱动抱刹装置对丝杆3进行锁定以使其停止旋转。在本技术的一个实施例中，信号接收模块可分别与升降机的电源、升降机的控制电路、驱动马达通信连接，以接收来自电源的电压信号、来自控制电路的光纤信号、来自驱动马达4的马达信号作为与驱动马达相关的信号以判断马达的运行状况。如此设置，可以确保当驱动马达4在不同原因而失效的情况下驱动抱刹装置对丝杆3进行锁定，例如，因电源供电不足导致驱动马达4失电、因光线信号传输障碍导致驱动马达4失控、以及引驱动马达4自身故障导致其停止运行。在本技术的又一个实施例中，抱刹装置优选以被动式抱刹的方式执行制动。即，抱刹装置可以是包含电磁线圈和闸片的电磁式抱刹装置，当电磁线圈通电以吸合闸片时，多个闸片彼此分离以允许丝杆3旋转；当电磁线圈断电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，包含：/n载物台；/n滑杆，所述载物台设置于所述滑杆的顶部；/n丝杆，所述丝杆设置有外螺纹并与所述滑杆平行；/n驱动马达，所述驱动马达设置于所述丝杆顶部并驱动所述丝杆沿轴线旋转；/n连接块，所述连接块的第一部分固定连接至所述滑杆的底部，所述连接块的第二部分包含内螺纹，并与所述丝杆的外螺纹构成螺纹副；/n制动系统，所述制动系统设置于所述丝杆的底部并响应于所述驱动马达失效的信号而锁定所述丝杆。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，包含：
载物台；
滑杆，所述载物台设置于所述滑杆的顶部；
丝杆，所述丝杆设置有外螺纹并与所述滑杆平行；
驱动马达，所述驱动马达设置于所述丝杆顶部并驱动所述丝杆沿轴线旋转；
连接块，所述连接块的第一部分固定连接至所述滑杆的底部，所述连接块的第二部分包含内螺纹，并与所述丝杆的外螺纹构成螺纹副；
制动系统，所述制动系统设置于所述丝杆的底部并响应于所述驱动马达失效的信号而锁定所述丝杆。


2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，所述制动系统包含：
电源模块；
信号接收模块，所述信号接收模块与所述电源模块电连接；
信号运算模块，所述信号运算模块与所述电源模块电连接，并与所述信号接收模块通信连接；
制动驱动模块，所述制动驱动模块与所述电源模块电连接并与所述信号运算模块通信连接；以及
抱刹装置，所述抱刹装置与所述制动驱动模块连接；
其中，
所述信号接收模块接收与所述驱动马达相关的信号，所述信号运算模块对所述驱动马达相关的信号进行判断并发送所述驱动马达失效的信号，所述制动驱动模块在接收到所述驱动马达失效的信号后驱动所述抱刹装置锁定所述丝杆。


3.根据权利要求2所述的用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，所述信号接收模块与所述升降机的电源通信连接，与所述驱动马达相关的信号包含...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄帅曦，何伟，金明，黄鹏，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32