一种用于晶圆加工设备的升降机及晶圆加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了提供一种用于晶圆加工设备的升降机，包含：载物台；滑杆，载物台设置于滑杆的顶部；丝杆，丝杆设置有外螺纹并与滑杆平行；驱动马达，驱动马达设置于丝杆顶部并驱动丝杆沿轴线旋转；连接块，连接块的第一部分固定连接至滑杆的底部，连接块的第二部分包含内螺纹，并与丝杆的外螺纹构成螺纹副；制动系统，制动系统设置于丝杆的底部并响应于驱动马达失效的信号而锁定丝杆。该升降机能够有效降低破片率、成本低廉并且安全性高。本实用新型专利技术同时提供一种包含上述升降机的晶圆加工设备。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工设备的升降机及晶圆加工设备
本技术涉及半导体
，特别涉及一种用于晶圆加工设备的升降机及包含该升降机的晶圆加工设备。
技术介绍
现有E500型晶圆加工设备的升降机包含平行布置的滑杆和丝杆，设置于丝杆顶部的驱动马达驱动丝杆沿其轴线旋转以带动丝杆上升。然而。该晶圆加工设备并未针对升降机设置制动功能，当升降机驱动马达因失电等原因失效时，晶圆盒内的晶圆会随载物台的下降而急速下降，若操作者此时正在执行取片等动作，则会与晶圆发生碰撞，导致破片和/或人员受伤。新式晶圆加工设备在丝杆顶部设置有制动装置，可响应于驱动马达异常失电而停止升降机的升降动作。一方面，机台整体换新成本较高；另一方面，现有E500型晶圆加工设备受内部结构及空间的限制不允许在丝杆顶部加装制动装置。因此，如何对现有E500型晶圆加工设备进行改造，以低成本使升降机具有制动功能成为晶圆加工领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
为了解决现有的技术问题，本技术提出了一种能够有效降低破片率、安全性高并且成本低廉的升降机。本技术同时提供一种包含该升降机的晶圆加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，包含：/n载物台；/n滑杆，所述载物台设置于所述滑杆的顶部；/n丝杆，所述丝杆设置有外螺纹并与所述滑杆平行；/n驱动马达，所述驱动马达设置于所述丝杆顶部并驱动所述丝杆沿轴线旋转；/n连接块，所述连接块的第一部分固定连接至所述滑杆的底部，所述连接块的第二部分包含内螺纹，并与所述丝杆的外螺纹构成螺纹副；/n制动系统，所述制动系统设置于所述丝杆的底部并响应于所述驱动马达失效的信号而锁定所述丝杆。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，包含：
载物台；
滑杆，所述载物台设置于所述滑杆的顶部；
丝杆，所述丝杆设置有外螺纹并与所述滑杆平行；
驱动马达，所述驱动马达设置于所述丝杆顶部并驱动所述丝杆沿轴线旋转；
连接块，所述连接块的第一部分固定连接至所述滑杆的底部，所述连接块的第二部分包含内螺纹，并与所述丝杆的外螺纹构成螺纹副；
制动系统，所述制动系统设置于所述丝杆的底部并响应于所述驱动马达失效的信号而锁定所述丝杆。


2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，所述制动系统包含：
电源模块；
信号接收模块，所述信号接收模块与所述电源模块电连接；
信号运算模块，所述信号运算模块与所述电源模块电连接，并与所述信号接收模块通信连接；
制动驱动模块，所述制动驱动模块与所述电源模块电连接并与所述信号运算模块通信连接；以及
抱刹装置，所述抱刹装置与所述制动驱动模块连接；
其中，
所述信号接收模块接收与所述驱动马达相关的信号，所述信号运算模块对所述驱动马达相关的信号进行判断并发送所述驱动马达失效的信号，所述制动驱动模块在接收到所述驱动马达失效的信号后驱动所述抱刹装置锁定所述丝杆。


3.根据权利要求2所述的用于晶圆加工设备的升降机，其特征在于，所述信号接收模块与所述升降机的电源通信连接，与所述驱动马达相关的信号包含...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄帅曦，何伟，金明，黄鹏，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32