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本实用新型公开了提供一种用于晶圆加工设备的升降机，包含：载物台；滑杆，载物台设置于滑杆的顶部；丝杆，丝杆设置有外螺纹并与滑杆平行；驱动马达，驱动马达设置于丝杆顶部并驱动丝杆沿轴线旋转；连接块，连接块的第一部分固定连接至滑杆的底部，连接块的第...
该专利属于和舰芯片制造(苏州)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和舰芯片制造(苏州)股份有限公司授权不得商用。

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