基板移送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的实施例的基板移送装置可以包括：多个夹具，构成为夹持基板；多个传感器，相邻于多个夹具布置，并感测基板；以及控制单元，根据多个传感器分别是否感测到基板来检测基板相对于基板的移送方向的倾斜度，并基于基板的倾斜度使多个夹具与基板对齐。

【技术实现步骤摘要】
基板移送装置
本技术涉及一种构成为移送基板的基板移送装置。
技术介绍
一般而言，在用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)。将基板切割为单位基板的工艺包括沿成为基板的切割基准的切割计划线使金刚石之类材质的划线轮加压于基板并移动而在基板形成划线的划线工艺。在这种划线工艺中，在基板支承于支承台上的状态下基板的后随端被多个夹具夹持而向划线单元移送。另一方面，由于多种原因，基板可能以相对于基板的移送方向倾斜的状态运进支承台。在基板以相对于基板的移送方向倾斜的状态运进支承台的情况下，可能发生多个夹具无法均匀夹持基板的后随端的问题。即，多个夹具中一部分可能无法夹持基板的后随端。另外，多个夹具的每个夹具夹持基板的后随端的夹持面积可能不同。由此，存在以下问题：由于基板无法被多个夹具稳定地夹持，在移送基板时，基板可能向不期望的方向移送，或者基板可能振动，或者基板可能从多个夹具脱离。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种构成为即使在基板以相对于基板的移送方向倾斜的状态运进的情况下多个夹具也夹持基板的基板移送装置。用于达到上述目的的本技术的实施例提供一种基板移送装置，基板移送装置可以包括：多个夹具，构成为夹持基板；多个传感器，相邻于多个夹具布置，并感测基板；以及控制单元，根据多个传感器分别是否感测到基板来检测基板相对于基板的移送方向的倾斜度，并基于基板的倾斜度使多个夹具与基板对齐。多个夹具可以安装于框架，框架构成为能够沿基板的移送方向移动，在框架可以具备多个夹具驱动组件，多个夹具驱动组件构成为使多个夹具分别沿基板的移送方向移动，控制单元可以控制多个夹具驱动组件，使多个夹具与基板对齐。本技术的实施例的基板移送装置可以还包括支承基板的支承台，控制单元可以基于基板的倾斜度来控制多个夹具驱动组件，使基板与支承台对齐。多个夹具可以安装于框架，框架构成为能够沿基板的移送方向移动，框架的两端可以以能够移动的方式支承于沿基板的移送方向延伸的一对导轨，控制单元可以调节框架的两端相对于一对导轨的移动量，使多个夹具与基板对齐。本技术的实施例的基板移送装置可以还包括支承基板的支承台，控制单元可以基于基板的倾斜度来调节框架的两端相对于一对导轨的移动量，使基板与支承台对齐。本技术的实施例的基板移送装置可以包括：多个夹具，构成为夹持基板；框架，安装多个夹具，并构成为能够沿基板的移送方向移动；传感器，安装于框架，并以能够跟随框架移动的方式设置，并构成为检测基板相对于基板的移送方向的倾斜度；以及控制单元，基于通过传感器检测的基板的倾斜度，使多个夹具与基板对齐。根据本技术的实施例，提供一种构成为即使在基板以相对于基板的移送方向倾斜的状态运进的情况下多个夹具也夹持基板的基板移送装置，从而能够将基板均匀夹持并稳定地移送。附图说明图1是简要示出本技术的实施例的基板移送装置的俯视图。图2是简要示出本技术的实施例的基板移送装置的侧视图。图3是简要示出本技术的实施例的基板移送装置的其它例的侧视图。图4至图9是依次示出本技术的实施例的基板移送装置的工作过程的图。图10至图12是依次示出本技术的实施例的基板移送装置的工作过程的其它例的图。图13是简要示出本技术的实施例的基板移送装置的其它例的图。图14是简要示出本技术的实施例的基板移送装置的再其它例的图。附图标记说明10：支承台；20：框架；30：导轨；40：夹具驱动组件；50：夹具；60：传感器；70：导件；80：夹具升降组件。具体实施方式以下，参照附图，说明本技术的实施例的基板移送装置。以下，将通过基板移送装置移送基板的方向定义为Y轴方向，将与移送基板的方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与放置基板的X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。如图1及图2所示，本技术的实施例的基板移送装置可以包括：支承基板S的支承台10；构成为夹持支承在支承台10上的基板S的后随端的夹具50；安装夹具50并沿X轴方向延伸的框架20；以及与框架20连接并沿Y轴方向延伸的导轨30。支承台10可以由能够沿Y轴方向往复移动的带构成。随着支承台10沿Y轴方向移动，支承在支承台10上的基板S能够沿Y轴方向移动。例如，支承台10可以由具有基板S整体面积以上面积的一个带构成。在支承台10由带构成的情况下，支承台10被多个滑轮11支承。多个滑轮11中至少一个可以是提供使支承台10旋转的驱动力的驱动滑轮。支承台10可以具有支承基板S的支承面。在支承台10的支承面可以形成有插入并收容夹具50的收容部12。多个收容部12可以对应于多个夹具50沿X轴方向布置。收容部12的数量可以与夹具50的数量相同。收容部12可以以将支承台10沿Z轴方向贯穿的贯穿孔的形态形成。只是，本技术不限定于此，在支承台10厚的情况下，收容部12可以以不贯穿支承台10而在支承台10凹陷形成的槽形态形成。在收容部12以贯穿孔或凹陷槽的形态形成的情况下，能够防止收容部12与基板S之间的干涉。作为一例，夹具50可以选择性地收容于收容部12。即，夹具50可以沿Z轴方向移动的同时收容于收容部12或者与收容部12隔开。作为其它例，夹具50可以继续保持收容于收容部12的状态。作为其它例，如图3所示，支承台10可以构成为气体台。在此情况下，在基板S被夹具50夹持并通过气体台悬浮的状态下，随着夹具50沿Y轴方向移动，基板S能够沿Y轴方向移动。框架20设置于支承台10的上方。框架20能够跟随导轨30沿Y轴方向移动。框架20的两端各自能够移动地支承于一对导轨30。在框架20与导轨30之间可以设置有使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆之类直线移动机构。因此，在夹具50夹持基板S的后随端的状态下，随着框架20通过直线移动机构沿Y轴方向移动，能够沿Y轴方向移送基板S。此时，支承台10能够在与夹具50的移动同步移动的同时稳定地支承基板S。多个夹具50安装于框架20并构成为夹持基板S的后随端。例如，夹具50可以包括一对夹紧部件。一对夹紧部件将基板置于之间彼此相对布置之后一对夹紧部件朝向基板移动，由此能够通过一对夹紧部件加压并夹持基板。多个夹具50可以沿着框架20沿X轴方向布置。夹具50可以设置成跟随沿框架20的延伸的导件70能够沿X轴方向移动。为此，在夹具50与导件70之间可以设置有使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆之类直线移动机构。因此，随着多个夹具50通过直线移动机构沿X轴方向移动，能够调节多个夹具50之间的间隔。因此，多个夹具50恰当地对应于基板S的宽度来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板移送装置，其特征在于，/n所述基板移送装置包括：/n多个夹具；/n多个传感器，构成为检测基板相对于所述基板的移送方向的倾斜度；以及/n多个夹具驱动组件，其分别与所述多个夹具连接，以基于所述基板的倾斜度而使所述多个夹具中的相应夹具沿所述基板的移送方向移动，以使所述多个夹具与所述基板对齐。/n

【技术特征摘要】
20190919 KR 10-2019-01156831.一种基板移送装置，其特征在于，
所述基板移送装置包括：
多个夹具；
多个传感器，构成为检测基板相对于所述基板的移送方向的倾斜度；以及
多个夹具驱动组件，其分别与所述多个夹具连接，以基于所述基板的倾斜度而使所述多个夹具中的相应夹具沿所述基板的移送方向移动，以使所述多个夹具与所述基板对齐。


2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述基板移送装置还包括：
构成为支承所述基板的支承台，
其中，所述多个夹具驱动组件基于所述基板的倾斜度来移动所述多个夹具中的所述相应夹具，以使所述基板与所述支承台对齐。


3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述多个夹具安装于框...

【专利技术属性】
技术研发人员：张喜童，全秉天，郑在晳，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国;KR