基板移送装置制造方法及图纸

技术编号:27979315 阅读:93 留言:0更新日期:2021-04-06 14:14
本实用新型专利技术的实施例的基板移送装置可以包括:多个夹具,构成为夹持基板;多个传感器,相邻于多个夹具布置,并感测基板;以及控制单元,根据多个传感器分别是否感测到基板来检测基板相对于基板的移送方向的倾斜度,并基于基板的倾斜度使多个夹具与基板对齐。

【技术实现步骤摘要】
基板移送装置
本技术涉及一种构成为移送基板的基板移送装置。
技术介绍
一般而言,在用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下,称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板(以下,称为“单位基板”)。将基板切割为单位基板的工艺包括沿成为基板的切割基准的切割计划线使金刚石之类材质的划线轮加压于基板并移动而在基板形成划线的划线工艺。在这种划线工艺中,在基板支承于支承台上的状态下基板的后随端被多个夹具夹持而向划线单元移送。另一方面,由于多种原因,基板可能以相对于基板的移送方向倾斜的状态运进支承台。在基板以相对于基板的移送方向倾斜的状态运进支承台的情况下,可能发生多个夹具无法均匀夹持基板的后随端的问题。即,多个夹具中一部分可能无法夹持基板的后随端。另外,多个夹具的每个夹具夹持基板的后随端的夹持面积可能不同。由此,存在以下问题:由于基板无法被多个夹具稳定地夹持,在移送基板时,基板可能向不期望的方向移送,或者基板可能振动,或者基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板移送装置,其特征在于,/n所述基板移送装置包括:/n多个夹具;/n多个传感器,构成为检测基板相对于所述基板的移送方向的倾斜度;以及/n多个夹具驱动组件,其分别与所述多个夹具连接,以基于所述基板的倾斜度而使所述多个夹具中的相应夹具沿所述基板的移送方向移动,以使所述多个夹具与所述基板对齐。/n

【技术特征摘要】
20190919 KR 10-2019-01156831.一种基板移送装置,其特征在于,
所述基板移送装置包括:
多个夹具;
多个传感器,构成为检测基板相对于所述基板的移送方向的倾斜度;以及
多个夹具驱动组件,其分别与所述多个夹具连接,以基于所述基板的倾斜度而使所述多个夹具中的相应夹具沿所述基板的移送方向移动,以使所述多个夹具与所述基板对齐。


2.根据权利要求1所述的基板移送装置,其特征在于,所述基板移送装置还包括:
构成为支承所述基板的支承台,
其中,所述多个夹具驱动组件基于所述基板的倾斜度来移动所述多个夹具中的所述相应夹具,以使所述基板与所述支承台对齐。


3.根据权利要求1所述的基板移送装置,其特征在于,所述多个夹具安装于框...

【专利技术属性】
技术研发人员:张喜童全秉天郑在晳
申请(专利权)人:塔工程有限公司
类型:新型
国别省市:韩国;KR

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