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本实用新型的实施例的基板移送装置可以包括：多个夹具，构成为夹持基板；多个传感器，相邻于多个夹具布置，并感测基板；以及控制单元，根据多个传感器分别是否感测到基板来检测基板相对于基板的移送方向的倾斜度，并基于基板的倾斜度使多个夹具与基板对齐。...
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