【技术实现步骤摘要】
具备等距间隙调整的真空吸附载架
本技术涉及具备等距间隙调整的真空吸附载架,属于具备负压拾取机构等距间隙调整载架的
技术介绍
随着半导体技术的快速发展和芯片复杂度的逐年提高,芯片测试已贯穿于整个设计研发与生产过程,并越来越具有挑战性。老化测试是芯片在交付客户使用之前用以剔除早期失效产品的一项重要测试。为了避免反复焊接,不同封装类型的芯片在老化测试中由特制的老化测试座固定在老化板上。老化板上一般设有连排等距设置的测试座,而老化板存在一定地规格差异,因此其上的测试座间距也存在差异,老化测试设备一般采用负压吸附机构对芯片进行负压拾取及放置,为了批量化装载及卸料需求,一般会根据测试座分布进行配套的负压吸附机构设计,即采用运转载座实现对若干负压吸附机构的搭载,从而满足批量化运转作业需求。传统运转载座上的负压吸附机构的位置相对固定,仅适用特定距离间隔的测试座,当测试座间距发生变化时,需要人工调节负压吸附机构的间隔距离,操作非常不便,且负压吸附机构的调节精度较差。
技术实现思路
本技术的目的是解决上 ...
【技术保护点】
1.具备等距间隙调整的真空吸附载架,设置在老化测试设备的运转基座上,其特征在于:/n包括折展伸缩架及用于驱动所述折展伸缩架伸缩位移的驱动源,/n所述折展伸缩架包括若干相连的枢轴支架,所述枢轴支架包括呈交叉状枢轴配接的第一连接臂和第二连接臂,所述第一连接臂的两端与所述第二连接臂的两端分别设有配接孔,相邻所述枢轴支架的第一连接臂与第二连接臂通过活动销穿接所述配接孔相枢轴配接,/n所述驱动源包括设置在所述运转基座上的具备垂直向开合位移的两个驱动座,一组相邻所述枢轴支架之间的两个活动销分别与所述驱动座一一对应相配接,/n任意相邻所述枢轴支架的两个活动销上设有垂直向设置的负压吸附杆, ...
【技术特征摘要】
1.具备等距间隙调整的真空吸附载架,设置在老化测试设备的运转基座上,其特征在于:
包括折展伸缩架及用于驱动所述折展伸缩架伸缩位移的驱动源,
所述折展伸缩架包括若干相连的枢轴支架,所述枢轴支架包括呈交叉状枢轴配接的第一连接臂和第二连接臂,所述第一连接臂的两端与所述第二连接臂的两端分别设有配接孔,相邻所述枢轴支架的第一连接臂与第二连接臂通过活动销穿接所述配接孔相枢轴配接,
所述驱动源包括设置在所述运转基座上的具备垂直向开合位移的两个驱动座,一组相邻所述枢轴支架之间的两个活动销分别与所述驱动座一一对应相配接,
任意相邻所述枢轴支架的两个活动销上设有垂直向设置的负压吸附杆,所述负压吸附杆与一个活动销相固接、与另一个活动销相滑动配接。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁鹏,
申请(专利权)人:无锡挈领科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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