一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，涉及连接配件装配加工用技术领域，针对连接配件加工过程中固定的问题，现提出如下方案，包括壳体，壳体的内部设有横板，所述壳体的背面外壁上固定连接有电机。本实用新型专利技术通过各种结构的组合使得本装置以机械取代人工对连接配件进行固定加工，从而不仅方便对不同规格的连接配件进行固定，节约成本且提高各种效率，本装置对连接配件的夹紧固定方便对其进行加工，从而通过在连接配件表面的刻花，增大接触面积，能粘附更多的附属物，同时分散这些附着物的应力分布，附着的附属物不容易剥落，减小颗粒产生的几率，提高制程的质量，延长腔体保养的周期，从而提高机器的使用率，减小成本。

【技术实现步骤摘要】
一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置
本技术涉及连接配件装配加工用
，尤其涉及一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置。
技术介绍
物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方式，将材料源，固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方式有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。现有的物理气相沉积200mm钽腔体连接配件装置，表面粘附反应附属物的能力有限，随着粘附的附着物的累积，这些附着物会从该装置上剥落，产生颗粒，影响制程的质量，缩短腔体保养周期，而对于不同规格的连接配件在加工过程中要么采用人工固定，要么需要不同的固定装置。
技术实现思路
本技术提出的一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，解决了连接配件加工过程中固定的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，包括壳体，所述壳体的内部设有横板，所述壳体的背面外壁上固定连接有电机，所述电机的输出端安装有主动齿轮，左侧所述主动齿轮的左侧设有齿轮，右侧所述主动齿轮的右侧设有从动齿轮，所述从动齿轮的右侧设有齿轮，且从动齿轮分别与主动齿轮及齿轮之间啮合传动，两个所述齿轮的下方设有齿条，两个所述齿条相互远离的一侧铰接有第一撑杆，所述第一撑杆的顶端铰接有第二撑杆，所述第二撑杆的顶端焊接有第一楔块，两个所述第一楔块的远离壳体两侧壳壁的一侧设有第二楔块，两个所述第二楔块远离第一楔块的一侧焊接有推杆，所述推杆远离第二楔块的一侧通过螺栓连接有固定板。优选的，所述壳体的背面外壁上焊接有支板，所述支板的顶部通过螺栓连接有电机，所述壳体的背面壳壁上开设有第一槽孔，所述电机的输出端安装有第一转轴，所述第一转轴的右侧设有第二转轴，所述第一转轴与第二转轴上均通过螺栓连接有主动齿轮。优选的，所述主动齿轮的正面设有位于第一转轴及第二转轴上的转轮，两个所述转轮之间连接有皮带，所述第一转轴的左侧转动第三转轴，所述三转轴上通过螺栓连接有齿轮，所述第二转轴的右侧转动第四转轴，所述第四转轴上通过螺栓连接有从动齿轮，所述第四转轴的右侧转动连接有第五转轴，所述第五转轴上也通过螺栓连接有齿轮。优选的，所述主动齿轮与齿条之间啮合传动，所述壳体的底部壳壁上开设有两个第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的顶部通过螺栓连接有齿条。优选的，所述横板上开设有两个第二槽孔，所述第二撑杆的顶端穿过第二槽孔，所述第一楔块与第二楔块相靠近的一侧均为斜面，所述横板上开设有两个第二滑槽，所述第二滑槽的内部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的顶部焊接有第二楔块。优选的，所述横板顶部的中部安装有工作台，所述壳体的顶部内壁与横板之间设有两个竖板，所述竖板上开设有第三槽孔，所述推杆远离第二楔块的一端穿过第三槽孔，所述推杆上套接有弹簧，所述壳体顶部壳壁的中部开设有第四槽孔。与现有的技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过安装电机、横板、电机、主动齿轮、齿轮、齿条、第一撑杆、第二撑杆、第一楔块、第二楔块、推杆、固定板、转轮、从动齿轮和弹簧的组合使得装置在对不同规格的连接配件在进行加工的过程中以机械取代人工对其机械夹紧固定，从而方便连接配件的加工。综上所述，本技术通过各种结构的组合使得本装置以机械取代人工对连接配件进行固定加工，从而不仅方便对不同规格的连接配件进行固定，节约成本且提高各种效率，本装置对连接配件的夹紧固定方便对其进行加工，从而通过在连接配件表面的刻花，增大接触面积，能粘附更多的附属物，同时分散这些附着物的应力分布，附着的附属物不容易剥落，减小颗粒产生的几率，提高制程的质量，延长腔体保养的周期，从而提高机器的使用率，减小成本。附图说明图1为本技术提出的一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置的正面剖视结构示意图；图2为本技术提出的一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置的背面剖视结构示意图；图3为本技术提出的一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置的侧视结构示意图。图中：1壳体、2横板、3电机、4主动齿轮、5齿轮、6齿条、7第一撑杆、8第二撑杆、9第一楔块、10第二楔块、11推杆、12固定板、13转轮、14从动齿轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-3，一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，包括壳体1，壳体1的内部设有横板2，壳体1的背面外壁上固定连接有电机3，电机3的输出端安装有主动齿轮4，左侧主动齿轮4的左侧设有齿轮5，右侧主动齿轮4的右侧设有从动齿轮14，从动齿轮14的右侧设有齿轮5，且从动齿轮14分别与主动齿轮4及齿轮5之间啮合传动，两个齿轮5的下方设有齿条6，两个齿条6相互远离的一侧铰接有第一撑杆7，第一撑杆7的顶端铰接有第二撑杆8，第二撑杆8的顶端焊接有第一楔块9，两个第一楔块9的远离壳体1两侧壳壁的一侧设有第二楔块10，两个第二楔块10远离第一楔块9的一侧焊接有推杆11，推杆11远离第二楔块10的一侧通过螺栓连接有固定板12。壳体1的背面外壁上焊接有支板，支板的顶部通过螺栓连接有电机3，壳体1的背面壳壁上开设有第一槽孔，电机3的输出端安装有第一转轴，第一转轴的右侧设有第二转轴，第一转轴与第二转轴上均通过螺栓连接有主动齿轮4，主动齿轮4的正面设有位于第一转轴及第二转轴上的转轮13，两个转轮13之间连接有皮带，第一转轴的左侧转动第三转轴，第三转轴上通过螺栓连接有齿轮5，第二转轴的右侧转动第四转轴，第四转轴上通过螺栓连接有从动齿轮14，第四转轴的右侧转动连接有第五转轴，第五转轴上也通过螺栓连接有齿轮5，主动齿轮4与齿条6之间啮合传动，壳体1的底部壳壁上开设有两个第一滑槽，第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，第一滑块的顶部通过螺栓连接有齿条6，横板2上开设有两个第二槽孔，第二撑杆8的顶端穿过第二槽孔，第一楔块9与第二楔块10相靠近的一侧均为斜面，横板2上开设有两个第二滑槽，第二滑槽的内部滑动连接有第二滑块，第二滑块的顶部焊接有第二楔块10，横板2顶部的中部安装有工作台，壳体1的顶部内壁与横板2之间设有两个竖板，竖板上开设有第三槽孔，推杆11远离第二楔块10的一端穿过第三槽孔，推杆11上套接有弹簧，壳体1顶部壳壁的中部开设有第四槽孔。本实施例中，首先，通过第四槽孔将待加工连接配件放置于工作台上，启动电机3，从而带动第一转轴进行旋转，使得主动齿轮4进行旋转，从而通过转轮13与皮带组合带动第二转轴进行旋转，从而带动两个主动齿轮4进行旋转，左侧主动齿轮4分别与齿轮5与齿条6进行啮合传动，而右侧的主动齿轮4带动传动齿轮14进行旋转，而从动齿轮14与齿轮5之间啮合传动，从而带动第五转轴进行旋转，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)的内部设有横板(2)，所述壳体(1)的背面外壁上固定连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端安装有主动齿轮(4)，左侧所述主动齿轮(4)的左侧设有齿轮(5)，右侧所述主动齿轮(4)的右侧设有从动齿轮(14)，所述从动齿轮(14)的右侧设有齿轮(5)，且从动齿轮(14)分别与主动齿轮(4)及齿轮(5)之间啮合传动，两个所述齿轮(5)的下方设有齿条(6)，两个所述齿条(6)相互远离的一侧铰接有第一撑杆(7)，所述第一撑杆(7)的顶端铰接有第二撑杆(8)，所述第二撑杆(8)的顶端焊接有第一楔块(9)，两个所述第一楔块(9)的远离壳体(1)两侧壳壁的一侧设有第二楔块(10)，两个所述第二楔块(10)远离第一楔块(9)的一侧焊接有推杆(11)，所述推杆(11)远离第二楔块(10)的一侧通过螺栓连接有固定板(12)。/n

【技术特征摘要】
1.一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)的内部设有横板(2)，所述壳体(1)的背面外壁上固定连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端安装有主动齿轮(4)，左侧所述主动齿轮(4)的左侧设有齿轮(5)，右侧所述主动齿轮(4)的右侧设有从动齿轮(14)，所述从动齿轮(14)的右侧设有齿轮(5)，且从动齿轮(14)分别与主动齿轮(4)及齿轮(5)之间啮合传动，两个所述齿轮(5)的下方设有齿条(6)，两个所述齿条(6)相互远离的一侧铰接有第一撑杆(7)，所述第一撑杆(7)的顶端铰接有第二撑杆(8)，所述第二撑杆(8)的顶端焊接有第一楔块(9)，两个所述第一楔块(9)的远离壳体(1)两侧壳壁的一侧设有第二楔块(10)，两个所述第二楔块(10)远离第一楔块(9)的一侧焊接有推杆(11)，所述推杆(11)远离第二楔块(10)的一侧通过螺栓连接有固定板(12)。


2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，其特征在于，所述壳体(1)的背面外壁上焊接有支板，所述支板的顶部通过螺栓连接有电机(3)，所述壳体(1)的背面壳壁上开设有第一槽孔，所述电机(3)的输出端安装有第一转轴，所述第一转轴的右侧设有第二转轴，所述第一转轴与第二转轴上均通过螺栓连接有主动齿轮(4)。


3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积钽腔体装配用连接配件装置，其特征在于，所述主动齿轮(4)的正面设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘祥超，
申请(专利权)人：上海知昊电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31