一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，涉及配件加工用技术领域，针对钛腔体模拟片配件加工过程中快速生产的问题，现提出如下方案，包括第一壳体，所述第一壳体的内部设有固定板，所述第一壳体的底部内壁上通过螺栓连接有电机，所述电机的输出端安装有转轴。本实用新型专利技术通过各种结构的组合使得装置不仅能够对配件的加工以机械取代人工，从而不仅提高工作效率，降低工作人员的负担，且本装置能够方便准确的加工出不同规格的配件，从而提高装置的适用范围，而通过增大该配件的直径，从而可以完全覆盖晶圆加热器的表面，反应的附属物不会沉积到晶圆加热器的表面，延长晶圆加热器的使用寿命，减小成本。

【技术实现步骤摘要】
一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置
本技术涉及配件加工用
，尤其涉及一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置。
技术介绍
物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方式有真空镀，真空溅射和离子镀三种。现有的钛腔体模拟片配件由于面积太小，无法完全覆盖晶圆加热器，导致反应的附属物会沉积到晶圆加热器的表面，从而影响加热器的使用寿命，从而需要扩大模拟片配件的规格大小。
技术实现思路
本技术提出的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，解决了钛腔体模拟片配件加工过程中快速生产的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，包括第一壳体，所述第一壳体的内部设有固定板，所述第一壳体的底部内壁上通过螺栓连接有电机，所述电机的输出端安装有转轴，所述转轴上通过螺栓连接有主动齿轮，所述主动齿轮的两侧设有从动齿轮，且主动齿轮与从动齿轮之间啮合传动，所述从动齿轮的底部安装有蜗杆，两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，包括第一壳体(1)，其特征在于，所述第一壳体(1)的内部设有固定板(2)，所述第一壳体(1)的底部内壁上通过螺栓连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端安装有转轴，所述转轴上通过螺栓连接有主动齿轮(4)，所述主动齿轮(4)的两侧设有从动齿轮(5)，且主动齿轮(4)与从动齿轮(5)之间啮合传动，所述从动齿轮(5)的底部安装有蜗杆(6)，两个所述蜗杆(6)远离电机(3)的一侧设有蜗轮(7)，且蜗杆(6)与蜗轮(7)之间啮合传动，两个所述蜗轮(7)远离蜗杆(6)的一侧设有第一螺杆(8)，所述第一螺杆(8)上螺纹连接有活动环(9)，两个所述活动环(9...

【技术特征摘要】
1.一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，包括第一壳体(1)，其特征在于，所述第一壳体(1)的内部设有固定板(2)，所述第一壳体(1)的底部内壁上通过螺栓连接有电机(3)，所述电机(3)的输出端安装有转轴，所述转轴上通过螺栓连接有主动齿轮(4)，所述主动齿轮(4)的两侧设有从动齿轮(5)，且主动齿轮(4)与从动齿轮(5)之间啮合传动，所述从动齿轮(5)的底部安装有蜗杆(6)，两个所述蜗杆(6)远离电机(3)的一侧设有蜗轮(7)，且蜗杆(6)与蜗轮(7)之间啮合传动，两个所述蜗轮(7)远离蜗杆(6)的一侧设有第一螺杆(8)，所述第一螺杆(8)上螺纹连接有活动环(9)，两个所述活动环(9)相互靠近一侧的外圈上铰接有第一撑杆(10)，所述第一撑杆(10)的顶端铰接有滑块，所述滑块的底部铰接有第二撑杆(11)，所述第二撑杆(11)的底端铰接有第二壳体(12)，所述第二壳体(12)的内部设有第二螺杆(13)，所述第二螺杆(13)上活动连接有刀具(14)。


2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，其特征在于，所述固定板(2)的中部壳壁上开设有第一槽孔，所述转轴的顶端穿过第一槽孔，所述转轴的顶端安装有横板，所述横板上螺栓连接有两个L型板，所述横板上等距开设有两个凹槽组，每个所述凹槽组包括有五个凹槽，所述L型板通过螺栓连接于凹槽中。


3.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积钛腔体模拟片配件加工用辅助装置，其特征在于，两个所述蜗轮(7)上通过螺栓连接有传动轴，两个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘祥超，
申请(专利权)人：上海知昊电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31