一种气液通道分离式均匀金属微滴稳定喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术一种气液通道分离式均匀金属微滴稳定喷射装置，属于均匀金属微滴喷射领域；包括收集仓、坩埚、压料块、料仓、喷嘴连接组件、喷嘴和激振系统；坩埚设置于收集仓内，其底面中心处的通孔通过喷嘴连接组件安装有喷嘴；料仓设置于坩埚内，用于盛放固态金属料，压料块压装于固态金属料的上表面；激振系统的压电换能器通过喷射连接件与振动杆连接，振动杆插入料仓的中心孔内，其外壁与中心孔的内壁、环形腔体内环面的径向圆孔构成气压通道；加热炉设置于坩埚的外周面，并通过外接温控仪控制加热炉的温度；收集仓用于将其内冷却金属微滴转化为均匀金属颗粒。本发明专利技术解决微喷嘴部分堵塞导致挂滴问题，使金属射流喷射稳定，达到均匀金属微滴稳定喷射。

【技术实现步骤摘要】
一种气液通道分离式均匀金属微滴稳定喷射装置
本专利技术属于均匀金属微滴喷射领域，具体涉及一种气液通道分离式均匀金属微滴稳定喷射装置。
技术介绍
目前，均匀金属颗粒在工业中有着越来越重要的应用。例如球格阵列(BallGridArray,BGA)封装采用均匀金属焊球作为芯片的管脚，可以尽可能在有限面积内部布置更多的管脚，增加I/O数量，同时可缩短连接管脚长度，以提高芯片传输速率。专利“MelissaOrme-Marmerelis,Irvine,CA(US)；RobertF.Smith,CostaMesa,CA(US).High-speedfabricationofhighlyuniformultra-smallmetalicmicrospheres:US,US6491737B2.2002-12-10”公布了一种采用夹心式换能器通过传振杆将扰动加载在金属熔液中，以实现射流离散得到均匀金属微滴的方法。在该方法中，坩埚内部的金属流体在外部压力作用下从微喷嘴中喷出形成层流射流，置于冷却水保护套中的压电陶瓷致动器产生机械振动，然后通过传振杆直接传递到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气液通道分离式均匀金属微滴稳定喷射装置，其特征在于：包括收集仓，温控仪、加热炉、坩埚、压料块、真空泵、压力控制器、料仓、刚性过滤网、氮气瓶、柔性滤网、喷嘴连接组件、喷嘴和激振系统；所述坩埚设置于收集仓内的上部，其底面中心处的通孔通过喷嘴连接组件安装有喷嘴；料仓设置于坩埚内，用于盛放固态金属料，所述压料块压装于固态金属料的上表面；/n所述料仓包括圆盘底座和环形腔体，所述圆盘底座和环形腔体均开有中心孔，并通过与中心孔内径相同的圆筒连接为同轴的一体结构；所述圆盘底座的外周面上沿周向均布多个径向通孔，将料仓的中心孔与坩埚连通，作为金属熔液流道；所述环形腔体的内环面沿周向均布多个径向圆孔，将环形...

【技术特征摘要】
1.一种气液通道分离式均匀金属微滴稳定喷射装置，其特征在于：包括收集仓，温控仪、加热炉、坩埚、压料块、真空泵、压力控制器、料仓、刚性过滤网、氮气瓶、柔性滤网、喷嘴连接组件、喷嘴和激振系统；所述坩埚设置于收集仓内的上部，其底面中心处的通孔通过喷嘴连接组件安装有喷嘴；料仓设置于坩埚内，用于盛放固态金属料，所述压料块压装于固态金属料的上表面；
所述料仓包括圆盘底座和环形腔体，所述圆盘底座和环形腔体均开有中心孔，并通过与中心孔内径相同的圆筒连接为同轴的一体结构；所述圆盘底座的外周面上沿周向均布多个径向通孔，将料仓的中心孔与坩埚连通，作为金属熔液流道；所述环形腔体的内环面沿周向均布多个径向圆孔，将环形内腔与环形腔体的中心孔连通；环形腔体的内底面沿周向均布多个圆孔，并在各圆孔处设置有刚性过滤网，对金属熔液进行一次过滤；所述喷嘴连接组件上安装有柔性滤网，对金属熔液进行二次过滤；
所述激振系统设置于坩埚上方的开口处，包括函数发生器、振动杆、喷射连接件和压电换能器；所述压电换能器通过喷射连接件与振动杆连接，振动杆同轴插入所述料仓的中心孔内，其外壁与中心孔的内壁、环形腔体内环面的径向圆孔构成气压通道；所述函数发生器输出驱动信号控制所述压电换能器；
所述加热炉设置于坩埚的外周面，并通过外接温控仪控制加热炉的...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗俊，吕胜楠，齐乐华，豆毅博，李贺军，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61