一种高效率四倍频的深紫外激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效率四倍频的深紫外激光器，涉及激光技术领域，该高效率四倍频的深紫外激光器包括：准直输出的绿光的绿光输出部以及四倍频系统。本实用新型专利技术将一次激光器四倍频后多余的倍频光通过一个环路与原来的倍频光合束后循环重复多次利用进行四倍频，在使用较短的低成本的四倍频晶体的同时提高了四倍频效率；倍频光通过腔外的适当温控的四倍频晶体后，由于一般的腔外四倍频效率较低，会有四倍频光和多余的倍频光同时输出，通过改变偏振态将原来的倍频光与多余的倍频光合束，多余的倍频光循环多次后大大提高了四倍频效率，深紫外激光器的四倍频效率可以提高至40％以上。

【技术实现步骤摘要】
一种高效率四倍频的深紫外激光器
本技术涉及激光
，尤其涉及一种高效率四倍频的深紫外激光器。
技术介绍
每产生一个四倍频深紫外激光光子需要两个相同相位、相同方向、相同偏振态(一般为s偏振即竖直偏振)的二倍频绿激光光子，两个绿激光光子经过四倍频非线性晶体后产生一个深紫外光子(一般为p偏振即水平偏振)。产生深紫外光的连续激光四倍频效率较低，在合适的温控下，相对于绿光的四倍频效率约10％-20％，脉冲调Q激光因为峰值功率高，四倍频效率稍微高一些，约20-30％。在实现本技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：四倍频晶体长度增加可以提高四倍频效率，但是相应的成本增加了，而且会出现激光吸收和走离效应。在一般的腔外四倍频中由于四倍频效率较低比如20％的四倍频效率，通常的方法是通过二向色镜将四倍频光输出，将多余的基频光和倍频光反射后用吸收材料吸收掉，没有参加四倍频的多余的约50％的基频光和70％的倍频光会有浪费，没有得到充分利用。
技术实现思路
为了克服现有技术中相关产品的不足，本技术提出一种高效率四倍频的深紫外激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效率四倍频的深紫外激光器，其特征在于，包括：包括准直输出的绿光的绿光输出部以及四倍频系统；所述四倍频系统包括第一反射镜、第一偏振合束器、第一半波片、四倍频晶体、第二反射镜、第三反射镜、双色镜、第二偏振合束器、第四反射镜以及第二半波片，所述第一反射镜、第一偏振合束器、第一半波片、四倍频晶体以及第三反射镜依次同轴设置，所述第三反射镜、双色镜以及第四反射镜由上至下依次同轴设置，所述第四反射镜、第二半波片以及第二反射镜依次同轴设置，且所述第二反射镜位于所述第二反射镜的下方，所述第二偏振合束器与所述绿光输出部同轴设置，且所述第二偏振合束器平行设置在所述第一偏振合束器的下方。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效率四倍频的深紫外激光器，其特征在于，包括：包括准直输出的绿光的绿光输出部以及四倍频系统；所述四倍频系统包括第一反射镜、第一偏振合束器、第一半波片、四倍频晶体、第二反射镜、第三反射镜、双色镜、第二偏振合束器、第四反射镜以及第二半波片，所述第一反射镜、第一偏振合束器、第一半波片、四倍频晶体以及第三反射镜依次同轴设置，所述第三反射镜、双色镜以及第四反射镜由上至下依次同轴设置，所述第四反射镜、第二半波片以及第二反射镜依次同轴设置，且所述第二反射镜位于所述第二反射镜的下方，所述第二偏振合束器与所述绿光输出部同轴设置，且所述第二偏振合束器平行设置在所述第一偏振合束器的下方。


2.根据权利要求1所述的高效率四倍频的深紫外激光器，其特征在于：所述绿光输...

【专利技术属性】
技术研发人员：王川，王辉文，
申请(专利权)人：武汉东隆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42