一种高效率三倍频的紫外激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效率三倍频的紫外激光器，涉及激光技术领域，该高效率三倍频的紫外激光器包括：准直输出基频红外光的基频红外光输出部，分别准直输出功率比约为1：2的基频红外光和倍频绿光倍频系统，以及直输出三倍频紫外光的三倍频紫外光系统，所述基频红外光输出部、倍频系统以及三倍频紫外光系统依次同轴设置。本实用新型专利技术所述高效率三倍频的紫外激光器将多余的基频光和倍频光分别形成一个环路，可以循环重复利用多余的基频光和倍频光，通过改变偏振态将原来的基频光和倍频光与多余的基频光和倍频光分别合束，多余的基频光和倍频光循环多次后大大提高了三倍频效率，紫外激光器的三倍频效率可以提高至40％以上。

【技术实现步骤摘要】
一种高效率三倍频的紫外激光器
本技术涉及激光
，尤其涉及一种高效率三倍频的紫外激光器。
技术介绍
每产生一个三倍频紫外激光光子需要相同相位、相同方向、垂直偏振态的一个基频红外激光光子(一般为p偏振即水平偏振)和一个倍频绿激光光子(一般为s偏振即竖直偏振)，一个基频光子和一个倍频光子(倍频光子能量是基频光子的两倍)经过三倍频非线性晶体后产生一个紫外光子(一般为p偏振即水平偏振)。产生紫外光的连续激光三倍频效率较低，在合适的温控下，相对于基频红外光的三倍频效率约10％-20％，脉冲调Q激光因为峰值功率高，三倍频效率稍微高一些，约20-30％。在实现本技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：三倍频晶体长度增加可以提高三倍频效率，但是相应的成本增加了，而且会出现激光吸收和走离效应。在一般的腔外三倍频中由于三倍频效率较低比如20％的三倍频效率，通常的方法是通过二向色镜将三倍频光输出，将多余的基频光和倍频光反射后用吸收材料吸收掉，没有参加三倍频的多余的约50％的基频光和70％的倍频光会有浪费，没有得到充分利用。技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于，包括：准直输出基频红外光的基频红外光输出部，分别准直输出功率比约为1：2的基频红外光和倍频绿光倍频系统，以及直输出三倍频紫外光的三倍频紫外光系统，所述基频红外光输出部、倍频系统以及三倍频紫外光系统依次同轴设置；其中，/n所述倍频系统包括第一偏振合束器、第一半波片、倍频晶体、第一双色镜、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、第二半波片以及第三反射镜，所述基频红外光输出部、第一偏振合束器、第一半波片、倍频晶体、第一双色镜以及分光镜依次同轴设置，所述第一反射镜平行设置在所述第一双色镜的下方，所述第二反射镜设置在所述分光镜的下方，所述第二反射镜、第二半波片以及第...

【技术特征摘要】
1.一种高效率三倍频的紫外激光器，其特征在于，包括：准直输出基频红外光的基频红外光输出部，分别准直输出功率比约为1：2的基频红外光和倍频绿光倍频系统，以及直输出三倍频紫外光的三倍频紫外光系统，所述基频红外光输出部、倍频系统以及三倍频紫外光系统依次同轴设置；其中，
所述倍频系统包括第一偏振合束器、第一半波片、倍频晶体、第一双色镜、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、第二半波片以及第三反射镜，所述基频红外光输出部、第一偏振合束器、第一半波片、倍频晶体、第一双色镜以及分光镜依次同轴设置，所述第一反射镜平行设置在所述第一双色镜的下方，所述第二反射镜设置在所述分光镜的下方，所述第二反射镜、第二半波片以及第三反射镜依次同轴设置，且所述第三反射镜位于所述第一偏振合束器的下方；
所述三倍频紫外光系统包括第二偏振合束器、第三半波片、第二双色镜、三倍频晶体、第四反射镜、第三双色镜、第四双色镜、第五反射镜、第三偏振合束器、第四半波片、第六反射镜、第五半波片、第七反射镜、第六半波片、第八反射镜，所述第二偏振合束器、第三半波片、第二双色镜、三倍频晶体、第四反射镜依次同轴设置，所述第四反射镜、第三双色镜、第四双色镜以及第八反射镜由上至下依次同轴设置，所述第五半波片、第三偏振合束器、第四半波片以及第六反射镜依次同轴设置，所述第二偏振合束器与所述分光镜位置对应，所述第五半波片与所述第一反射镜位置对应，所述第六反射镜平行设置在所述第二双色镜的下方，所述第五...

【专利技术属性】
技术研发人员：王川，王辉文，
申请(专利权)人：武汉东隆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42