一种利用全内反角的多程棱镜耦合器制造技术

一种利用全内反角的多程棱镜耦合器，包括沿光束照射方向依次设置的第一耦合棱镜、非线性变频晶体以及第二耦合棱镜，非线性变频晶体呈平板状，所述第一耦合棱镜和第二耦合棱镜分别设置在非线性变频晶体相对的两个板面；非线性变频晶体，用于将射入到其内的光束以相位匹配角传播，在所述第一反射区和第二反射区之间沿光路实现多程全内反射后，经第一耦合棱镜或者第二耦合棱镜输出。本发明专利技术实施例提供的耦合器，利用全内反角使入射光线在非线性变频晶体中形成多次反射，成倍增加了倍频晶体有效长度，进而提高倍频光的转换效率和输出功率。

A multi pass prism coupler using total internal inverse angle

【技术实现步骤摘要】
一种利用全内反角的多程棱镜耦合器
本专利技术涉及非线性光学变频激光
，更具体涉及一种利用全内反角的多程棱镜耦合器。
技术介绍
深紫外激光(200nm以下)的波长短，因而具有光子能量大的特点，这让深紫外激光在材料、物理、化学、生物、资环等众多领域得以大展身手。所以，为开发更短波段的激光领域，科研人员不断地寻求着新型深紫外非线性光学材料。KBBF(KBe2BO3F2，氟硼铍酸钾)和RBBF(氟硼铍酸铷，RbBe2BO3F2)是目前仅有的两种可以直接倍频实现深紫外激光输出的非线性光学晶体。为克服KBBF晶体由于层状结构特性、不能按相位匹配方向切割而进行谐波的难题，出现了棱镜耦合技术、光栅耦合技术等多种方法可使得KBBF在DUV/VUV波段的相位匹配得以满足。其中棱镜耦合技术还获得了美国、日本和中国专利，并在科研工作中得到了广泛的应用。KBBF－PCT(KBBF-棱镜耦合器件)技术是目前唯一可通过直接倍频有效产生深紫外激光的方法。应用该技术，我国研制成功了多种国际首创、精密化、实用化的深紫外全固态激光DUV－DPL。然而，该KBBF晶体呈本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用全内反角的多程棱镜耦合器，其特征在于，包括沿光束照射方向依次设置的第一耦合棱镜、非线性变频晶体以及第二耦合棱镜；/n所述非线性变频晶体呈平板状，所述第一耦合棱镜和第二耦合棱镜分别与所述非线性变频晶体的相对的两个板面贴合；/n与所述第一耦合棱镜接触的所述非线性变频晶体的板面上，设置有至少一个第一反射区；每个所述第一反射区用于与空气接触；/n与所述第二耦合棱镜接触的所述非线性变频晶体的板面上，设置有至少一个第二反射区；每个所述第二反射区用于与空气接触；/n所述非线性变频晶体，用于将射入到其内的光束，以相位匹配角传播，并在所述第一反射区和第二反射区之间沿光路实现多程全内反射后，经第二耦合...

【技术特征摘要】
1.一种利用全内反角的多程棱镜耦合器，其特征在于，包括沿光束照射方向依次设置的第一耦合棱镜、非线性变频晶体以及第二耦合棱镜；
所述非线性变频晶体呈平板状，所述第一耦合棱镜和第二耦合棱镜分别与所述非线性变频晶体的相对的两个板面贴合；
与所述第一耦合棱镜接触的所述非线性变频晶体的板面上，设置有至少一个第一反射区；每个所述第一反射区用于与空气接触；
与所述第二耦合棱镜接触的所述非线性变频晶体的板面上，设置有至少一个第二反射区；每个所述第二反射区用于与空气接触；
所述非线性变频晶体，用于将射入到其内的光束，以相位匹配角传播，并在所述第一反射区和第二反射区之间沿光路实现多程全内反射后，经第二耦合棱镜输出。


2.根据权利要求1所述的利用全内反角的多程棱镜耦合器，其特征在于，
与所述非线性变频晶体接触的所述第一耦合棱镜的面上设置有用于容纳空气的第一凹槽；
与所述非线性变频晶体接触的所述第二耦合棱镜的面上设置有用于容纳空气的第二凹槽；
所述第一凹槽，用于至少覆盖所有的第一反射区；
所述第二凹槽，用于至少覆盖所有的第二反射区。


3.根据权利要求2所述的利用全内反角的多程棱镜耦合器，其特征在于，
所述第一凹槽的个数为多个；
多个所述第一凹槽和多个第一反射区一一对应，每个第一凹槽均用于为一个所述第一反射区提供空气，以使射入到所述第一反射区的光束沿光路传播方向反射；
多个所述第二凹槽和多个第二反射区一一对应；每个第二凹槽为一个所述第二反射区提供空气，以使射入到所述第二反射区的光束沿光路传播方向反射。


4.根据权利要求1-3任一项所述的利用全内反角的多程棱镜耦合器，其特征在于，
其中，所述第一耦合棱镜由对深紫外光高透材料制成；所述第二耦合棱镜由对深紫外光高透材料制成...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗楠，宋艳洁，彭钦军，王志敏，张申金，杨峰，张丰丰，薄勇，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11