一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法，所述准分子激光器线宽和E95主动控制装置包括光谱测量模块、控制器及线宽压窄模块；其中，所述光谱测量模块用于接收所述准分子激光器输出的光，并产生干涉条纹；所述控制器用于根据所述干涉条纹确定所述激光器的线宽和E95的当前值，并根据所述线宽和E95的当前值与线宽和E95的目标值确定所述线宽压窄模块的运动信息；所述线宽压窄模块用于根据所述运动信息运动，从而实现所述激光器的线宽和E95的主动控制。

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法
本专利技术涉及激光器光谱测量和反馈控制
，特别涉及一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法。
技术介绍
准分子激光器是一种波长处于紫外波段的脉冲气体激光器，其工作物质由惰性气体(氖气、氩气、氪气、氙气等)和卤族元素(氟、氯、溴等)做成，最常见的准分子激光器有氟化氩(ArF)和氟化氪(KrF)，其中心波长分别为193nm和248nm，因其能量大、波长短，是半导体光刻机的理想光源。准分子激光器为光刻机提供照明光源，光源的光谱线宽(FWHM)和E95直接影响光刻机曝光线条的质量，光刻机对于准分子激光器的光谱线宽和E95要求很高，对于90nm节点，要求光源的线宽为0.35pm，E95为0.75pm，对于28nm节点，要求光源的线宽为0.15pm，E95为0.35pm。另外，为了使光刻机曝光线条稳定，要求激光器光谱线宽十分稳定，过大或过小的光谱均会引起光刻机曝光线条不稳定，从而影响芯片生产的良率。准分子激光器的自然谱线大约在几百皮米，为了实现窄线宽的光谱输出，准分子激光器用线宽压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置，其特征在于，包括光谱测量模块、控制器及线宽压窄模块；其中，/n所述光谱测量模块用于接收所述准分子激光器输出的光，并产生干涉条纹；/n所述控制器用于根据所述干涉条纹确定所述激光器的线宽和E95的当前值，并根据所述线宽和E95的当前值与线宽和E95的目标值确定所述线宽压窄模块的运动信息；/n所述线宽压窄模块用于根据所述运动信息运动，从而实现所述激光器的线宽和E95的主动控制。/n

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置，其特征在于，包括光谱测量模块、控制器及线宽压窄模块；其中，
所述光谱测量模块用于接收所述准分子激光器输出的光，并产生干涉条纹；
所述控制器用于根据所述干涉条纹确定所述激光器的线宽和E95的当前值，并根据所述线宽和E95的当前值与线宽和E95的目标值确定所述线宽压窄模块的运动信息；
所述线宽压窄模块用于根据所述运动信息运动，从而实现所述激光器的线宽和E95的主动控制。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述线宽压窄模块包括扩束单元和中阶梯光栅，所述扩束单元用于接收所述激光器的输出光，所述中阶梯光栅用于接收所述扩束单元的透射光，且所述透射光入射至所述中阶梯光栅的入射角与所述中阶梯光栅的闪耀角相等。


3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述线宽和E95包括光谱线宽和E95；所述运动信息包括运动方向和运动量；
所述控制器用于根据所述光谱线宽和E95的当前值与所述光谱线宽和E95的目标值确定所述扩束单元的运动方向和运动量，并控制所述扩束单元按照所述运动方向和运动量运动，以改变入射到所述中阶梯光栅的光束的波前和发散角，从而实现对所述光谱线宽和E95的主动控制。


4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括OC镜，与所述线宽压窄模块共同构成谐振腔。


5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述扩束单元包括第一柱面棱镜和第二柱面棱镜，第一柱面棱镜位于所述激光器与所述第二柱面棱镜之间；所述第一柱面棱镜具有相对的第一面和第二面，所述第二柱面棱镜具有相对的第一面和第二面，所述第一柱面棱镜的第二面为凹柱面，所述第二柱面棱镜的第一面为凸柱面，所述凹柱面与所述凸柱面相对设置。


6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘广义，江锐，丁金滨，赵江山，冯泽斌，殷青青，刘明雷，纪伟，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11