温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法，所述准分子激光器线宽和E95主动控制装置包括光谱测量模块、控制器及线宽压窄模块；其中，所述光谱测量模块用于接收所述准分子激光器输出的光，并产生干涉条纹；所述控制器用于根据所述干涉条...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。