一种高精度恒温设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度恒温设备，包括外箱体，外箱体的内壁上安装有制冷器，外箱体的内侧安装有加热器，外箱体的内部底端安装有固定座，固定座上活动安装有第一旋转齿轮，旋转电机的输出端连接有旋转轴，旋转轴的上端安装有第二旋转齿轮，第二旋转齿轮与第一旋转齿轮相啮合，第一旋转齿轮的上端固定安装有内箱体，内箱体的上方侧端固定有滑板，外箱体的侧壁倾斜固定有支撑板，支撑板上固定有与滑板相匹配的滑槽，内箱体的外侧安装有第一温度传感器，内箱体的内侧安装有第二温度传感器，内箱体的外侧固定有若干个旋转结构，旋转结构由固定杆、旋转套、叶片构成。本实用新型专利技术温度稳定，精确度高，热稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度恒温设备
本技术涉及半导体设备
，特别涉及一种高精度恒温设备。
技术介绍
半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。在半导体的使用过程中，必然伴随半导体设备发热，为了保证半导体设备的正常运行，往往需要给半导体设备配备制冷或者恒温装置。目前常用的有加热管、风扇等，传统的恒温设备控制精度低，温差范围大，热稳定性不好，这对于要求控制恒温并且精度要求很高的半导体设备，这样控制方式很难达到要求，为此，我们提出一种高精度恒温设备。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种高精度恒温设备，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种高精度恒温设备，包括外箱体，所述外箱体的内壁上安装有制冷器，所述外箱体的内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度恒温设备，包括外箱体（1），其特征在于：所述外箱体（1）的内壁上安装有制冷器（2），所述外箱体（1）的内侧安装有加热器（3），且所述外箱体（1）的内部底端安装有固定座（4），所述固定座（4）上活动安装有第一旋转齿轮（5），且所述外箱体（1）的下端固定有防护框（6），所述防护框（6）的内部安装有旋转电机（7），所述旋转电机（7）的输出端连接有旋转轴（8），所述旋转轴（8）贯穿外箱体（1）延伸至外箱体（1）的内部，且所述旋转轴（8）的上端固定安装有第二旋转齿轮（9），所述第二旋转齿轮（9）与第一旋转齿轮（5）相啮合，且所述第一旋转齿轮（5）的上端固定安装有内箱体（10），所述内箱体（...

【技术特征摘要】
1.一种高精度恒温设备，包括外箱体（1），其特征在于：所述外箱体（1）的内壁上安装有制冷器（2），所述外箱体（1）的内侧安装有加热器（3），且所述外箱体（1）的内部底端安装有固定座（4），所述固定座（4）上活动安装有第一旋转齿轮（5），且所述外箱体（1）的下端固定有防护框（6），所述防护框（6）的内部安装有旋转电机（7），所述旋转电机（7）的输出端连接有旋转轴（8），所述旋转轴（8）贯穿外箱体（1）延伸至外箱体（1）的内部，且所述旋转轴（8）的上端固定安装有第二旋转齿轮（9），所述第二旋转齿轮（9）与第一旋转齿轮（5）相啮合，且所述第一旋转齿轮（5）的上端固定安装有内箱体（10），所述内箱体（10）的上方侧端固定有滑板（11），且所述外箱体（1）的侧壁倾斜固定有支撑板（12），所述支撑板（12）上固定有与滑板（11）相匹配的滑槽（13），且所述外箱体（1）、内箱体（10）、滑板（11）、支撑板（12）、滑槽（13）形成一个空腔（14），所述内箱体（10）的外侧安装有第一温度传感器（15），所述内箱体（10）的内侧安装有第二温度传感器（16），且所述内箱体（10）的外侧固定有若干个旋转结构，所述旋转结构由固定杆（19）、旋转套（20）、...

【专利技术属性】
技术研发人员：王家武，罗应强，
申请(专利权)人：云南全控机电有限公司，
类型：新型
国别省市：云南;53