一种电子探针用新型样品台制造技术

技术编号:27946111 阅读:19 留言:0更新日期:2021-04-02 14:29
本实用新型专利技术公开了一种电子探针用新型样品台,包括样品台,标样孔槽,探针片槽,横向支撑杆,纵向支撑杆,紧固压片,滑槽,紧固螺母,横向定位孔和纵向定位孔,所述样品台内部设置有标样孔槽,所述标样孔槽下侧设置有探针片槽,所述探针片槽内部连接有横向支撑杆,所述横向支撑杆左右两侧设置有横向定位孔,所述横向支撑杆上侧设置有纵向支撑杆,所述纵向支撑杆前后两侧设置有纵向定位孔,所述探针片槽下侧设置有紧固压片,所述紧固压片上侧设置有贯穿的滑槽,所述滑槽内部连接有紧固螺母,该实用新型专利技术在放入探针片的同时,可以放入标准样品靶,并对于非常规尺寸的样品片也可以直接放入样品台,不用对其二次加工,更加符合实际测试过程中的应用。

【技术实现步骤摘要】
一种电子探针用新型样品台
本技术涉及地质设备
,具体为一种电子探针用新型样品台。
技术介绍
现有电子探针的样品台都是放置样品(探针片、靶)的样品台与放置标样的样品台是分开的(原样品台见图1),在实际生产中,测试样品多以探针片为主,样品靶次之,但是标样,无论是美国SPI标样还是国标,都是圆形的具有一定厚度的标样靶,在正常测试过程中,要先放入标样样品台,然后在全部测试完标样以后,再将标样取出,将放置样品的样品台放入仪器,但是在测试过程中如果出现数据有偏差,想要对标样进行测试查看问题出现的原因,就需要将样品取出,在将标样放入,不仅需要抽放真空,操作繁琐且耗时,而且样品再放入后,位置会有偏差,后期打点、拍照、投图都会有影响,在日常测试中也无法做到随时插入监控样,无法实时监控数据质量。对于现在测试的探针片基本都是有固定尺寸的,但是也会偶尔有非常规尺寸的片子要进行测试,就要对其进行切割处理,会存在污染样品的风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电子探针用新型样品台,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。<br>为实现上述目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子探针用新型样品台,包括样品台(1),标样孔槽(2),探针片槽(3),横向支撑杆(4),纵向支撑杆(5),紧固压片(6),滑槽(7),紧固螺母(8),横向定位孔(9)和纵向定位孔(10),其特征在于:所述样品台(1)内部设置有标样孔槽(2),所述标样孔槽(2)下侧设置有探针片槽(3),所述探针片槽(3)内部连接有横向支撑杆(4),所述横向支撑杆(4)左右两侧设置有横向定位孔(9),所述横向支撑杆(4)上侧设置有纵向支撑杆(5),所述纵向支撑杆(5)前后两侧设置有纵向定位孔(10),所述探针片槽(3)下侧设置有紧固压片(6),所述紧固压片(6)上侧设置有贯穿的滑槽(7),所述滑槽(7)...

【技术特征摘要】
1.一种电子探针用新型样品台,包括样品台(1),标样孔槽(2),探针片槽(3),横向支撑杆(4),纵向支撑杆(5),紧固压片(6),滑槽(7),紧固螺母(8),横向定位孔(9)和纵向定位孔(10),其特征在于:所述样品台(1)内部设置有标样孔槽(2),所述标样孔槽(2)下侧设置有探针片槽(3),所述探针片槽(3)内部连接有横向支撑杆(4),所述横向支撑杆(4)左右两侧设置有横向定位孔(9),所述横向支撑杆(4)上侧设置有纵向支撑杆(5),所述纵向支撑杆(5)前后两侧设置有纵向定位孔(10),所述探针片槽(3)下侧设置有紧固压片(6),所述紧固压片(6)上侧设置有贯穿的滑槽(7),所述滑槽(7)内部连接有紧固螺母(8)。


2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐爽张玉强林培军李凤春王继林栾日坚郭腾达顾清宇牟瑜张姝
申请(专利权)人:山东正元地质资源勘查有限责任公司
类型:新型
国别省市:山东;37

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