微粒子的制造装置及微粒子的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种制造更小的微粒子的微粒子的制造装置及微粒子的制造方法。本发明专利技术的微粒子的制造装置具有：将微粒子制造用的原料供给到热等离子体焰中的原料供给部；在内部产生热等离子体焰，并通过热等离子体焰将原料供给部所供给的原料予以蒸发成为气相状态的混合物的等离子体炬；在等离子体炬的内部产生热等离子体焰的等离子体产生部：以及将急速冷却用气体供给到热等离子体焰的气体供给部，气体供给部对急速冷却用气体的供给量实施时间调变来进行供给。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微粒子的制造装置及微粒子的制造方法
本专利技术涉及使用了热等离子体焰的微粒子的制造装置及微粒子的制造方法，尤其涉及将用于冷却热等离子体焰的急速冷却用气体实施时间调变来进行供给的制造微粒子的微粒子的制造装置及微粒子的制造方法。
技术介绍
目前，硅微粒子、氧化物微粒子、氮化物微粒子、碳化物微粒子等的微粒子已经被用于多个
中。作为制造这种微粒子的方法之一，可举出气相法。而在气相法中，具有：将各种气体等利用高温使其产生化学反应的化学方法；以及利用照射电子束或激光等的光束来使物质分解、蒸发而生成微粒子的物理方法。作为气相法中的其他方法，有热等离子体法。热等离子体法是在热等离子体焰中使原材料瞬间蒸发之后，再将该蒸发物急速冷却凝固来制造微粒子的方法。采用热等离子体法有许多优点：干净且生产性高，并且由于利用高温，热容量较大，因此能适用于高熔点材料；与其他的气相法相比，比较容易复合化。因此，热等离子体法作为用来制造微粒子的方法受到积极的利用。以往的采用热等离子体法的微粒子的制造方法，例如：先将原材料物质制作成粉末状，再将这种粉末状的原材料(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微粒子的制造装置，其特征在于，该微粒子的制造装置具有：/n原料供给部，将制造微粒子用的原料供给到热等离子体焰中；/n等离子体炬，在其内部产生所述热等离子体焰，通过所述热等离子体焰将所述原料供给部所供给的所述原料予以蒸发而成为气相状态的混合物；/n等离子体产生部，用来使所述等离子体炬的内部产生所述热等离子体焰：以及/n气体供给部，将急速冷却用气体供给到所述热等离子体焰；其中，/n所述气体供给部对所述急速冷却用气体的供给量实施时间调变来进行供给。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180903 JP 2018-1647501.一种微粒子的制造装置，其特征在于，该微粒子的制造装置具有：
原料供给部，将制造微粒子用的原料供给到热等离子体焰中；
等离子体炬，在其内部产生所述热等离子体焰，通过所述热等离子体焰将所述原料供给部所供给的所述原料予以蒸发而成为气相状态的混合物；
等离子体产生部，用来使所述等离子体炬的内部产生所述热等离子体焰：以及
气体供给部，将急速冷却用气体供给到所述热等离子体焰；其中，
所述气体供给部对所述急速冷却用气体的供给量实施时间调变来进行供给。


2.根据权利要求1所述的微粒子的制造装置，其特征在于，所述原料供给部对送往所述热等离子体焰中的所述原料的供给量实施时间调变，然后将所述原料供给到所述热等离子体焰中。


3.根据权利要求1或2所述的微粒子的制造装置，其特征在于，所述等离子体产生部产生温度状态实施过时间调变的调变感应热等离子体焰来作为所述热等离子体焰，并使所述调变感应热等离子体焰周期性地变成高温状态和比所述高温状态温度更低的低温状态。


4.根据权利要求3所述的微粒子的制造装置，其特征在于，当所述调变感应热等离子体焰处于所述低温状态时，所述气体供给部增多所述急速冷却用气体的供给量。


5.根据权利要求3或4所述的微粒子的制造装置，其特征在于，当所述调变感应热等离子体焰处于所述高温状态时，所述原料供给部增多所述原料的供给量。


6.根据权利要求1至5中的任一项所述的微粒子的制造装置，其特征在于，所述原料供给部将所述原料以分散成粒子状的状态供给到所述热等离子体焰中。


7.根据权利要求1至6中的任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中康规，清水光太郎，末安志织，渡边周，渡边智也，中村圭太郎，
申请(专利权)人：国立大学法人金泽大学，日清制粉集团本社股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP