一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法技术

本发明专利技术涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法，所述高效晶体硅太阳能电池的制备方法包括：(1)硅片前处理：将洁净的硅片置于碳氮共渗炉中，抽真空后通入甲烷和氨气的混合气体，温度为800～1200℃，时间为30～240min，甲烷的流量为0.8～1.0m

【技术实现步骤摘要】
一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法
本专利技术涉及太阳能电池
，具体涉及一种高效晶体硅太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
随着工业化进程的不断推进和人民生活水平的日益提高，人们对能源的需求越来越大，石油、煤炭等传统化石能源储量有限，可替代传统化石能源的绿色可再生能源逐渐进入研究者视野，太阳能作为一种取之不尽用之不竭的清洁能源受到极大关注。现阶段，对太阳能的研究主要集中在光热利用、光电利用和光化利用等领域。太阳能电池是太阳能光电利用的一种主要方式，其基本原理是利用光生伏特效应将太阳辐射能直接转换为电能。晶体硅是现阶段太阳能电池的主流材料，晶体硅的表面复合速率对太阳能电池的性能影响很大，必须通过表面钝化的方式降低复合速率。通过PECVD方法生长的SiNx：H薄膜是目前使用最多的钝化方法，SiNx：H薄膜中含有大量的氢，这些氢会在后续的热处理过程中从薄膜中扩散到晶体硅的表面，与晶体硅的悬挂键结合，起到钝化作用。但太阳能电池中氢含量也不宜过高，在一定的温度和光照下，这些氢又会以更快的速度释放，从而导致衰减。<br>
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种高效晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：/n(1)硅片前处理：将洁净的硅片置于碳氮共渗炉中，抽真空后通入甲烷和氨气的混合气体，温度为800～1200℃，时间为30～240min，甲烷的流量为0.8～1.0m

【技术特征摘要】
1.一种高效晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
(1)硅片前处理：将洁净的硅片置于碳氮共渗炉中，抽真空后通入甲烷和氨气的混合气体，温度为800～1200℃，时间为30～240min，甲烷的流量为0.8～1.0m3/h，氨气的流量为0.5～0.75m3/h，碳势为0.9％～1.2％；
(2)制绒：待硅片冷却后使用制绒液在硅片表面制绒；
(3)扩散：通过磷扩散，在硅片表面形成P-N结；
(4)刻蚀：刻蚀硅片边缘；
(5)钝化：在硅片的背面生长一层AlOx薄膜，然后采用PECVD方式分别在硅片两面沉积SiNx：H薄膜；
(6)丝网印刷：在硅片的正面印刷正电极，在硅片的背面印刷背电极和背电场；
(7)退火烧结：将硅片置于烧结炉中烧结。


2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)为将洁净的硅片置于碳氮共渗炉中，抽真空后通入甲烷和氨气的混合气体，温度为900℃，时间为180min，甲烷的流量为0.9m3/h，氨气的流量为0.6m3/h，碳势为1.0％。


3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)具体为：
在10～15℃下制绒，所述制绒液包括如下重量百分比的原料：
3％氢氧化钠、0.2％十二烷基苯磺酸钠、8％异丙醇，余量为水。


4....

【专利技术属性】
技术研发人员：任现坤，杨晓君，仲伟佳，葛永见，曹振，郭瑞静，陈冲，
申请(专利权)人：山东力诺太阳能电力股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37